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1. WO2010067446 - 比透磁率の低い垂直磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット

公開番号 WO/2010/067446
公開日 17.06.2010
国際出願番号 PCT/JP2008/072564
国際出願日 11.12.2008
IPC
G11B 5/851 2006.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
5記録担体の磁化または減磁による記録;磁気的手段による再生;そのための記録担体
84記録担体の製造に特に適合する方法または装置
851スパッタリングにより磁性層を支持体に形成するもの
CPC
G11B 5/656
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
62Record carriers characterised by the selection of the material
64comprising only the magnetic material without bonding agent
65characterised by its composition
656containing Co
G11B 5/851
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
851Coating a support with a magnetic layer by sputtering
出願人
  • 三菱マテリアル株式会社 MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 野中 荘平 NONAKA, Sohei [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 三島 昭史 MISHIMA, Akifumi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 野中 荘平 NONAKA, Sohei
  • 三島 昭史 MISHIMA, Akifumi
代理人
  • 志賀 正武 SHIGA, Masatake
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SPUTTERING TARGET FOR FORMING PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING MEDIUM FILM HAVING LOW RELATIVE PERMEABILITY
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION POUR LA FORMATION D’UNE PELLICULE DE SUPPORT D’ENREGISTREMENT MAGNÉTIQUE PERPENDICULAIRE PRÉSENTANT UNE PERMÉABILITÉ RELATIVE FAIBLE
(JA) 比透磁率の低い垂直磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット
要約
(EN)
Disclosed is a sputtering target for forming a perpendicular magnetic recording medium film, which has a constituent composition composed of 0.5-15% by mole of a nonmagnetic oxide, 4-20% by mole of Cr, 5-25% by mole of Pt and the balance of Co and unavoidable impurities. The sputtering target has a structure wherein a Co-Cr two-component alloy phase, a Pt phase and a nonmagnetic oxide phase are uniformly dispersed.
(FR)
L’invention concerne une cible de pulvérisation pour la formation d’une pellicule de support d’enregistrement magnétique perpendiculaire, dont la composition constituante se compose de 0,5-15 % en moles d’un oxyde non magnétique, de 4-20 % en moles de Cr, de 5-25 % en moles de Pt et le reste de Co et d’impuretés inévitables. La cible de pulvérisation comporte une structure dans laquelle une phase d’alliage à deux composants Co-Cr, une phase de Pt et une phase d’oxyde non magnétique sont dispersées uniformément.
(JA)
 この垂直磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットは、非磁性酸化物:0.5~15モル%、Cr:4~20モル%、Pt:5~25モル%を含有し、残部:Coおよび不可避不純物からなる成分組成を有し、Co-Cr二元系合金相、Pt相および非磁性酸化物相が均一分散している組織を有する。
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