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1. WO2010061431 - ウエハ収納容器

公開番号 WO/2010/061431
公開日 03.06.2010
国際出願番号 PCT/JP2008/071321
国際出願日 25.11.2008
IPC
H01L 21/673 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673特に適合するキャリアを使用するもの
CPC
H01L 21/67369
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
6735Closed carriers
67369characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
出願人
  • ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 松鳥 千明 MATSUTORI, Chiaki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 飯村 康治 IIMURA, Yasuharu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 永島 剛 NAGASHIMA, Tsuyoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 松鳥 千明 MATSUTORI, Chiaki
  • 飯村 康治 IIMURA, Yasuharu
  • 永島 剛 NAGASHIMA, Tsuyoshi
代理人
  • 三井 和彦 MITSUI, Kazuhiko
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) WAFER STORING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE CONSERVATION DES PLAQUETTES
(JA) ウエハ収納容器
要約
(EN)
When an opening section (1a) of a storing container main body (1) is covered with a cover body (2), a plurality of semiconductor wafers (W) are elastically held by a receiving side retainer (4) and a pressing side retainer (5) and separated from wafer placing grooves (31), in a state where the wafers are arranged upright parallel to each other in the storing container main body (1). When the opening section (1a) is not covered with the cover body (2), each semiconductor wafer (W) returns to the state where it is placed in each wafer placing groove (31). Thus, at the time of carrying in and out the semiconductor wafers (W) by having the semiconductor wafers (W) arranged and stored upright, the semiconductor wafers (W) are accurately aligned, and the semiconductor wafers (W) are surely protected from shocks and vibration for transportation and storage.
(FR)
Quand une section d’ouverture (1a) d’un corps principal de récipient de conservation (1) est recouverte par un corps de couvercle (2), une pluralité de plaquettes semi-conductrices (W) est élastiquement maintenue par une fixation latérale de réception (4) et une fixation latérale de pression (5) et séparée de sillons de placement des plaquettes (31) dans un état où les plaquettes sont disposées verticalement parallèles les unes aux autres dans le corps principal du récipient de conservation (1).  Lorsque la section d’ouverture (1a) n’est pas recouverte du corps de couvercle (2), chaque plaquette semi-conductrice (W) retourne à l’état où elle est placée dans chaque sillon de placement des plaquettes (31).  Ainsi, au moment d’insérer ou d’extraire les plaquettes semi-conductrices (W) en disposant et en conservant les plaquettes semi-conductrices (W) à la verticale, les plaquettes semi-conductrices (W) sont alignées avec précision, et les plaquettes semi-conductrices (W) sont protégées en toute sécurité des chocs et des vibrations du transport et de l’entreposage.
(JA)
 収納容器本体(1)の開口部(1a)が蓋体(2)で塞がれた状態では、複数の半導体ウエハ(W)が、収納容器本体(1)内において並列に並んで立てられた状態で受け側リテーナ(4)と押し側リテーナ(5)とにより弾力的に保持されてウエハ載置溝(31)から離れ、開口部(1a)が蓋体(2)で塞がれていない状態になると、各半導体ウエハ(W)が各ウエハ載置溝(31)に載置された状態に戻る。それによって、複数の半導体ウエハ(W)を立てた状態に並べて収納して、半導体ウエハ(W)を出し入れする際に半導体ウエハ(W)の位置決めを正確に行うことができ、且つ運搬や保管等の際には半導体ウエハ(W)を衝撃や振動から確実に保護することができる。
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