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1. (WO2010058674) アゾール系銅用防食剤含有水の処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/058674    国際出願番号:    PCT/JP2009/068112
国際公開日: 27.05.2010 国際出願日: 21.10.2009
IPC:
C02F 1/58 (2006.01), C02F 1/78 (2006.01)
出願人: KURITA WATER INDUSTRIES LTD. [JP/JP]; 4-7, Nishishinjuku 3-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1608383 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YASUIKE, Yuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NEMOTO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YASUIKE, Yuji; (JP).
NEMOTO, Atsushi; (JP)
代理人: SHIGENO, Tsuyoshi; (JP)
優先権情報:
2008-295757 19.11.2008 JP
発明の名称: (EN) PROCESS FOR TREATMENT OF WATER CONTAINING AZOLE-TYPE ANTICORROSIVE FOR COPPER
(FR) PROCESSUS POUR LE TRAITEMENT D’UNE EAU CONTENANT UN AGENT ANTICORROSIF DE TYPE AZOLE POUR LE CUIVRE
(JA) アゾール系銅用防食剤含有水の処理方法
要約: front page image
(EN)A process is provided, by which an azole-type anticorrosive for copper can be efficiently removed from water containing the same (such as wastewater discharged from the CMP step in the process of production of semiconductor devices).  The process comprises adding ferrous ions to water containing an azole-type anticorrosive for copper, separating the formed insoluble iron-azole complex from the system, and then subjecting the resulting water to ozonolysis to decompose TOC components remaining therein.  An azole-type anticorrosive for copper can be efficiently insolubilized and flocculated in the form of an iron-azole complex by virtue of ferrous ions and thus can be removed by solid-liquid separation.  Since the water obtained after removing the insoluble matter formed by the addition of ferrous ions is rid not only of the azole-type anticorrosive for copper but also of suspended matter, little ozone is uselessly consumed in ozone-accelerated oxidative decomposition, whereby the TOC components, which contain remaining traces of the azole-type anticorrosive for copper, can be highly decomposed and removed even in a low ozone dose.
(FR)L’invention concerne un processus par lequel un agent anticorrosif de type azole pour le cuivre peut être efficacement retiré d’une eau le contenant (telle qu’une eau usée évacuée à partir d’une étape de CMP dans le processus de production de dispositifs semi-conducteurs). Le processus consiste à ajouter des ions ferreux à de l’eau contenant un agent anticorrosif de type azole pour le cuivre, à séparer le complexe insoluble fer-azole formé du système et, ensuite, à soumettre l’eau résultante à une ozonolyse pour décomposer les composants COT restant dans celle-ci. Un agent anticorrosif de type azole pour le cuivre peut être efficacement insolubilisé et floculé sous la forme d’un complexe fer-azole grâce aux ions ferreux, et peut ensuite être enlevé par séparation solide-liquide. L’eau obtenue après avoir retiré la matière insoluble formée par l’ajout d’ions ferreux étant débarrassée, non seulement de l’agent anticorrosif de type azole pour le cuivre, mais aussi de la matière en suspension, peu d’ozone est consommé en vain dans une décomposition oxydative accélérée par l’ozone, et les composants COT, qui contiennent des traces restantes de l’agent anticorrosif de type azole pour le cuivre, peuvent être hautement décomposés et retirés, même dans une faible dose d’ozone.
(JA) 半導体デバイス製造プロセスにおけるCMP工程の排水等のアゾール系銅用防食剤含有水中のアゾール系銅用防食剤を効率的に除去する方法。アゾール系銅用防食剤を含有する水に第一鉄イオンを添加して、生成する不溶性の鉄・アゾール系錯体を分離する。不溶性の鉄・アゾール系錯体を分離した後、残留するTOC成分をオゾン分解する。第一鉄イオンにより、アゾール系銅用防食剤を鉄・アゾール系錯体として効率的に不溶化させて凝集・固液分離処理することができる。第一鉄イオンの添加で生成した不溶化物を除去した後の水は、アゾール系銅用防食剤のみならず、懸濁物質も除去されたものであるため、オゾンによる促進酸化分解処理にあたり、オゾンの無駄な消費を防止して、少ないオゾン注入量で残留するアゾール系銅用防食剤を含むTOC成分を高度に分解除去することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)