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1. (WO2010055673) 移動体の駆動制御方法、露光方法、ロボット制御方法、駆動制御装置、露光装置、及び、ロボット装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/055673    国際出願番号:    PCT/JP2009/006079
国際公開日: 20.05.2010 国際出願日: 13.11.2009
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B25J 13/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAIKI, Kazuaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAIKI, Kazuaki; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
61/193,285 13.11.2008 US
12/591,214 12.11.2009 US
発明の名称: (EN) MOVING BODY DRIVE CONTROL METHOD, EXPOSURE METHOD, ROBOT CONTROL METHOD, DRIVE CONTROL DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND ROBOT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE ROBOT, DISPOSITIF DE COMMANDE D'ENTRAÎNEMENT, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF DE ROBOT
(JA) 移動体の駆動制御方法、露光方法、ロボット制御方法、駆動制御装置、露光装置、及び、ロボット装置
要約: front page image
(EN)A drive control device is equipped with a first feedforward control unit (102a) which finds a first feedforward signal (S1a) by applying a first perfect tracking control method to a first transmission function (1021a) representing a portion of an inverse system of the transmission characteristics of a target to be controlled (301), a second feedforward control unit (102b) which finds a second feedforward signal (S1b) by applying a second perfect tracking control method to a second transmission function (1021b) which represents a portion of the inverse system of the transmission characteristics of the target to be controlled (301) and which is different from the first transmission function (1021a), and a disturbance observer (104) which finds a first compensation signal (d') for the first feedforward signal (S1a). The target to be controlled (301) is driven using a second compensation signal (S5) which is found from the second feedforward signal (S1b) and the first compensation signal (d').
(FR)L'invention porte sur un dispositif de commande d'entraînement qui comprend une première unité de régulation par anticipation (102a) qui trouve un premier signal d'action anticipée (S1a) par application d'un premier procédé de commande de suivi parfait à une première fonction de transmission (1021a) représentant une partie d'un système inverse des caractéristiques de transmission d'une cible devant être commandée (301), une seconde unité de régulation par anticipation (102b) qui trouve un second signal d'action anticipée (S1b) par application d'un second procédé de commande de suivi parfait à une seconde fonction de transmission (1021b) qui représente une partie du système inverse des caractéristiques de transmission de la cible devant être commandée (301) et qui est différente de la première fonction de transmission (1021a), et un observateur de perturbation (104) qui trouve un premier signal de compensation (d') pour le premier signal d'action anticipée (S1a). La cible devant être commandée (301) est entraînée à l'aide d'un second signal de compensation (S5) qui est trouvé à partir du second signal d'action anticipée (S1b) et du premier signal de compensation (d').
(JA) 駆動制御装置は、制御対象(301)の伝達特性の逆システムの一部を示す第1伝達関数(1021a)に第1の完全追従制御法を適用させることで第1のフィードフォワード信号(S1a)を求める第1フィードフォワード制御部(102a)と、制御対象(301)の伝達特性の逆システムの一部を示すとともに第1伝達関数(1021a)とは異なる第2伝達関数(1021b)に第2の完全追従制御法を適用させて第2のフィードフォワード信号(S1b)を求める第2フィードフォワード制御部(102b)と、第1のフィードフォワード信号(S1a)に対する第1の補償信号(d')を求める外乱オブザーバ(104)と、を備え、第2のフィードフォワード信号(S1b)と第1の補償信号(d')とから求めた第2の補償信号(S5)を用いて制御対象(301)を駆動する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)