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1. (WO2010055552) サックバック高さ検査方法、サックバック高さ検査装置及びコンピュータ読取可能な記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/055552    国際出願番号:    PCT/JP2008/070480
国際公開日: 20.05.2010 国際出願日: 11.11.2008
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B05C 11/00 (2006.01), G01B 11/02 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
LEE, Young Chan [KR/KR]; (KR) (米国のみ).
JEONG, Young Suk [KR/KR]; (KR) (米国のみ).
LEE, Hyung Jin [KR/KR]; (KR) (米国のみ)
発明者: LEE, Young Chan; (KR).
JEONG, Young Suk; (KR).
LEE, Hyung Jin; (KR)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Kakubari Building, 1-20, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SUCK BAG HEIGHT TEST METHOD, SUCK BAG HEIGHT TEST DEVICE AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TEST DE NIVEAU D'ASPIRATION INVERSE ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) サックバック高さ検査方法、サックバック高さ検査装置及びコンピュータ読取可能な記録媒体
要約: front page image
(EN)A suck bag height test method comprises the steps of picking up an image of a nozzle to be tested for the acquisition of a nozzle image and calculating a unit pixel length by using a nozzle inner diameter stored in advance and the number of pixels corresponding to the nozzle inner diameter on the nozzle image. Based on data set on the nozzle image of a process liquid region, a nozzle internal path region and a nozzle external region, the number of pixels corresponding to the suck bag height is acquired. By using the calculated length of the unit pixel and the number of pixels corresponding to the suck bag height, the suck bag height is calculated.
(FR)L'invention concerne un procédé de test de niveau d'aspiration inverse comprenant les étapes suivantes : capture d'une image de buse à tester pour acquérir une image de buse, et calcul d'une longueur de pixel unitaire par utilisation d'un diamètre interne de buse stocké au préalable et du nombre de pixels correspondant au diamètre interne de la buse sur l'image cette buse. En fonction d'un ensemble de données sur l'image de buse d'une région de liquide de processus, d'une région de passage interne de la buse et d'une région de passage externe de la buse, le nombre de pixels correspondant au niveau d'aspiration inverse est acquis. L'utilisation de la longueur calculée du pixel unitaire et du nombre de pixels correspondant au niveau d'aspiration inverse permet de calculer le niveau d'aspiration inverse.
(JA) サックバック高さを検査する方法は、検査するノズルを撮像してノズルイメージを獲得し、予め格納されたノズルの内径とノズルイメージ上でノズル内径に対応するピクセル数を用いて、単位ピクセルの長さを算出する。ノズルイメージ上に設定された処理液領域、ノズル内部通路領域及びノズル外部領域のデータに基づいて、サックバック高さに対応するピクセル数を獲得する。算出された単位ピクセルの長さとサックバック高さに対応するピクセル数を用いて、サックバック高さが計算される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)