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1. (WO2010053040) 電子線式基板検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/053040    国際出願番号:    PCT/JP2009/068585
国際公開日: 14.05.2010 国際出願日: 29.10.2009
IPC:
G01N 23/225 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: Hitachi High-Technologies Corporation. [JP/JP]; 1-24-14, Nishi Shimbashi, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUJIWARA Daiji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUJIWARA Daiji; (JP)
代理人: ISONO Michizo; (JP)
優先権情報:
2008-285672 06.11.2008 JP
発明の名称: (EN) ELECTRON BEAM TYPE SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION DE SUBSTRAT DE TYPE À FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 電子線式基板検査装置
要約: front page image
(EN)Provided is an electron beam type substrate inspecting apparatus (1) which can inspect a substrate to be inspected (8) in a short time. The inspecting apparatus is provided with: means (11, 12) which make an inspecting region on the substrate to be inspected (8) scanned with an electron beam (9); a means (7) which detects signals generated from the substrate to be inspected (8); a means (13) which performs imaging by associating the scanning position on the inspecting substrate (8) with the signals; a means (15a) which generates on layout, based on arrangement data and design data (19) of a plurality of semiconductor devices formed on the substrate to be inspected (8), at least one region among a die region indicating a range wherein the semiconductor devices exist on the substrate to be inspected (8), a logic circuit region indicating a range wherein a logic circuit exists in the semiconductor devices, a memory circuit region indicating a range wherein a memory circuit exists, and a peripheral circuit region indicating a range wherein a peripheral circuit exists; and a means (15b) which sets the region to be inspected by using the generated region.
(FR)L'invention concerne un appareil d'inspection de substrat de type à faisceau d'électrons (1) capable d'inspecter un substrat à inspecter (8) en un court laps de temps. L'appareil d'inspection de substrat est muni de : moyens (11, 12) qui permettent le balayage d'une région d'inspection sur le substrat à inspecter (8) par un faisceau d'électrons (9) ; un moyen (7) qui détecte des signaux émis par le substrat à inspecter (8) ; un moyen (13) qui procède à une imagerie en associant la position de balayage sur le substrat à inspecter (8) aux signaux ; un moyen (15a) qui crée sur un schéma, basé sur les données d'agencement et les données de conception (19) d'une pluralité de dispositifs semi-conducteurs formés sur le substrat à inspecter (8), au moins une région dans une région de puce indiquant une plage dans laquelle les dispositifs semi-conducteurs se trouvent sur le substrat à inspecter (8), une région de circuit logique indiquant une plage dans laquelle un circuit logique se trouve dans les dispositifs semi-conducteurs, une région de circuit mémoire indiquant une plage dans laquelle se trouve un circuit mémoire, et une région de circuit périphérique indiquant une plage dans laquelle se trouve un circuit périphérique ; et un moyen (15b) qui définit la région à inspecter en utilisant la région créée.
(JA) 検査基板(8)を短時間で検査可能な電子線式基板検査装置(1)を提供する。  検査基板(8)上の検査領域内に電子線(9)を走査させる手段(11)(12)と、検査基板(8)から発生する信号を検出する手段(7)と、検査基板(8)上の走査位置と信号を対応付けて画像化する手段(13)と、検査基板(8)上に形成される複数の半導体装置の配列データと設計データ(19)とに基づいて、検査基板(8)上における複数の半導体装置の存在する範囲を示すダイ領域と、半導体装置における、論理回路の存在する範囲を示す論理回路領域と、メモリ回路の存在する範囲を示すメモリ回路領域と、周辺回路の存在する範囲を示す周辺回路領域との内の少なくとも1つの領域をレイアウト上に生成する手段(15a)と、生成された領域を用いて、検査領域を設定する手段(15b)とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)