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1. (WO2010053028) 膜厚計測装置及び成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/053028    国際出願番号:    PCT/JP2009/068474
国際公開日: 14.05.2010 国際出願日: 28.10.2009
IPC:
G01B 11/06 (2006.01)
出願人: Konica Minolta Holdings, Inc. [JP/JP]; 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MIZUKOSHI Tomohide [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MIZUKOSHI Tomohide; (JP)
優先権情報:
2008-286247 07.11.2008 JP
発明の名称: (EN) FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE D’ÉPAISSEUR DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 膜厚計測装置及び成膜方法
要約: front page image
(EN)Provided is a film thickness measuring apparatus by which accurate film thickness measurement values can be obtained even when the position of a film transfer member, which moves a film while supporting the film, varies.  The film thickness measuring apparatus has a light irradiation section which irradiates the film with light, and a light receiving section which receives reflection light from the film, and the apparatus measures the thickness of the thin film based on output from the light receiving section.  The film thickness measuring apparatus has a light irradiation/receiving section holding member which holds the light irradiation section and the light receiving section, and the film transfer member, which transfers the film that faces the light irradiation section and the light receiving section, while supporting the film.  The relative positional relationship between the film surface to be measured and the light irradiation section and that between the film surface and the light receiving section are maintained by engaging the light irradiation/receiving section holding member with the film transfer member.
(FR)La présente invention a pour objet un appareil de mesure d’épaisseur de film par lequel des valeurs de mesure précises d’épaisseur de film peuvent être obtenues même lorsque la position d’un élément de transfert de film, qui déplace un film tout en servant de support au film, varie. L’appareil de mesure d’épaisseur de film possède une section irradiation lumineuse qui irradie le film avec de la lumière, et une section réceptrice de lumière qui reçoit la lumière de réflexion provenant du film, et l’appareil mesure l’épaisseur du film mince sur la base d’une sortie de la section réceptrice de lumière. L’appareil de mesure d’épaisseur de film possède un élément de support de section irradiation lumineuse/réceptrice de lumière qui soutient la section irradiation lumineuse et la section réceptrice de lumière, et l’élément de transfert de film, qui transfère le film qui fait face à la section irradiation lumineuse et à la section réceptrice de lumière, tout en servant de support au film. La relation de position relative entre la surface de film à mesurer et la section irradiation lumineuse et celle entre la surface de film et la section réceptrice de lumière sont maintenues par la mise en prise de l’élément de support de section irradiation lumineuse/réceptrice de lumière avec l’élément de transfert de film.
(JA) フィルムを支持しつつ移動させるフィルム移送部材の位置変動があっても、正確な膜厚計測値の得られる膜厚計測装置を提供するために、フィルム上に光を照射する投光部と、フィルムからの反射光を受光する受光部とを有し、該受光部からの出力に基づいて、薄膜の膜厚を計測する膜厚計測装置であって、投光部及び受光部を保持する投受光部保持部材と、投光部及び受光部に対向するフィルムを支持しつつ移動させるフィルム移送部材と、を有し、投受光部保持部材をフィルム移送部材に係合させることにより、フィルムの計測面と投光部及び受光部との相対位置関係を維持するようにした膜厚計測装置とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)