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1. (WO2010052895) アライメントシステム、アライメントシステムの制御方法、プログラム及び測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/052895    国際出願番号:    PCT/JP2009/005841
国際公開日: 14.05.2010 国際出願日: 04.11.2009
IPC:
G01M 11/02 (2006.01)
出願人: CANON MARKETING JAPAN INC. [JP/JP]; 16-6,Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1088011 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Hidekazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Hidekazu; (JP)
代理人: FUJIMOTO, Ryosuke; (JP)
優先権情報:
2008-285579 06.11.2008 JP
2009-242790 21.10.2009 JP
発明の名称: (EN) ALIGNMENT SYSTEM, METHOD AND PROGRAM FOR CONTROLLING THE SAME, AND MEASUREMENT DEVICE
(FR) SYSTÈME D’ALIGNEMENT, PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE COMMANDE, ET DISPOSITIF DE MESURE
(JA) アライメントシステム、アライメントシステムの制御方法、プログラム及び測定装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a measurement device which makes it possible to measure a wavefront transmitted by a lens under examination rapidly, simply and with high precision, and also disclosed are an alignment system used therein, and a method and program for controlling this alignment system. An alignment system (40) which is used in a measurement device (1) having an interferometer (20) for measuring a wavefront transmitted by a lens (10) under examination and which aligns a convergence point (CP) of the lens (10) under examination with a spherical center (O) of a reflecting spherical prototype (27) includes a movement portion (50) for moving a stage (25) on which the lens (10) under examination is loaded, a computer (60), and a movement control module (70) that controls the movement portion (50) in response to a set movement direction and movement amount. When a direction judgment module (64) judges that a center (17) of a contrast region (16) has actually moved in a direction away from a center (29b) of a detection region (29a), the movement control module (70) controls the movement portion (50) in such a way that the set movement direction is reset to the opposite direction, and the stage (25) is moved in the reset movement direction.
(FR)Cette invention concerne un dispositif de mesure permettant de mesurer un front d’onde transmis par une lentille en cours d’examen, ceci rapidement, facilement et avec une précision élevée, un système d’alignement conjointement utilisé, et un procédé et un programme de commande de ce système d’alignement. Le système d’alignement (40), qui est utilisé dans un dispositif de mesure (1) doté d’un interféromètre (20) pour la mesure d’un front d’onde transmis par une lentille (10) en cours d’examen et qui aligne un point de convergence (CP) de la lentille (10) en cours d’examen sur le centre sphérique (O) d’un prototype sphérique réfléchissant (27), comprend une partie de déplacement (50) permettant de déplacer un étage(25) sur lequel est chargée la lentille (10) en cours d’examen, un ordinateur (60), et un module de commande de déplacement (70) commandant la partie déplacement (50) selon une direction de déplacement et une valeur de déplacement fixées. Lorsqu’un module d’estimation de direction (64) juge qu’un centre (17) d’une région de contraste (16) s’est effectivement déplacé dans une direction qui l’éloigne du centre (29b) d’une zone de détection (29a), le module de commande de déplacement (70) commande la partie déplacement (50) pour que la direction de mouvement fixée soit réorientée dans la direction opposée et l’étage (25)  déplacé dans la direction du déplacement réorienté.
(JA)短時間で簡単かつ高精度に被検レンズの透過波面を測定することが可能な測定装置、それに使用されるアライメントシステム、アライメントシステムの制御方法及びプログラムを提供する。 干渉計20を有して被検レンズ10の透過波面を測定する測定装置1に使用され、被検レンズ10の集光点CPと反射型球面原器27の球心Oとを位置合わせするアライメントシステム40は、被検レンズ10を載置するステージ25を移動する移動部50とコンピュータ60を有し、設定された移動方向と移動量に基づいて移動部50を制御する移動制御モジュール70と、方向判断モジュール64が、実際には、明暗領域16の中心17が検出領域29aの中心29bから離れる方向に移動していると判断した場合に、設定した移動方向を反対方向に再設定し、再設定された移動方向にステージ25が移動するように移動部50を制御する移動制御モジュール70を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)