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1. (WO2010050453) イオン注入装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/050453    国際出願番号:    PCT/JP2009/068368
国際公開日: 06.05.2010 国際出願日: 27.10.2009
IPC:
H01J 37/317 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHIHASHI Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATANABE Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORITA Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATO Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UZUMAKI Takuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHIHASHI Tsutomu; (JP).
WATANABE Kazuhiro; (JP).
MORITA Tadashi; (JP).
SATO Kenji; (JP).
TANAKA Tsutomu; (JP).
UZUMAKI Takuya; (JP)
代理人: ISHIJIMA Shigeo; (JP)
優先権情報:
2008-282366 31.10.2008 JP
発明の名称: (EN) ION IMPLANTING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'IMPLANTATION IONIQUE
(JA) イオン注入装置
要約: front page image
(EN)An ion implanting apparatus (18a-18d) is provided with a first ion irradiation apparatus (50a) arranged on the side of a carry-in port (60) of a vacuum chamber (51), and a second ion irradiation apparatus (50b) which is arranged on the side of a carry-out port (61) of the vacuum chamber (51) by being spaced apart from the first ion irradiation apparatus (50a), and the ion irradiation regions of the first and second ion irradiation apparatuses do not overlap each other. Thus, since a first surface (30a) and a second surface (30b) of a subject to be processed (30) are prevented from being irradiated with ions at the same time, the temperature inside the subject to be processed can be prevented from increasing rapidly.
(FR)L'invention porte sur un appareil d'implantation ionique (18a-18d) qui inclut un premier appareil d'exposition ionique (50a), agencé du côté d'un orifice d'entrée (60) d'une chambre à vide (51), et un second appareil d'exposition ionique (50b), qui est agencé du côté d'un orifice de sortie (61) de la chambre à vide (51) en étant espacé du premier appareil d'exposition ionique (50a), et les régions d'exposition ionique des premier et second appareils d'exposition ionique ne se chevauchent pas. Ainsi, étant donné qu'une première surface (30a) et une seconde surface (30b) d'un objet devant être traité (30) sont empêchées d'être exposées à des ions en même temps, il est possible d'éviter que la température à l'intérieur de l'objet à traiter ne s'élève rapidement.
(JA) 本発明のイオン注入装置(18a-18d)は、真空槽(51)の搬入口(60)側に設けられた第一のイオン照射装置(50a)と、前記真空槽(51)の搬出口(61)側に前記第一のイオン照射装置(50a)と離間して設けられた第二のイオン照射装置(50b)とを備え、前記第一、第二のイオン照射装置のイオン照射範囲は重ならないようになっている。これにより、処理対象物(30)の第一面(30a)と第二面(30b)とに同時にイオンを照射しないようにできるので、処理対象物内部の急激な昇温を防ぐことのできるイオン注入装置を提供することが可能になった。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)