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World Intellectual Property Organization
1. (WO2010010771) 荷電粒子線装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/010771    国際出願番号:    PCT/JP2009/061259
国際公開日: 28.01.2010 国際出願日: 15.06.2009
H01J 37/26 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shinbashi 1-chome, Minato-ku, TOKYO 105-8717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KIKUCHI, Hideki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGAOKI, Isao [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MINAKAWA, Katsuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KIKUCHI, Hideki; (JP).
NAGAOKI, Isao; (JP).
MINAKAWA, Katsuyuki; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; C/O HITACHI, LTD. 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku TOKYO 100-8220 (JP)
2008-191582 25.07.2008 JP
(JA) 荷電粒子線装置
要約: front page image
(EN)Provided is a charged corpuscular ray apparatus for acquiring tilted series images of a micro specimen for a short time period.  The charged corpuscular ray apparatus previously measures the relation between a focal shift and a coincidence at the time of acquiring the tilted series images, counts back the focal shift from the coincidence on the basis of that relation, and controls a stage, an objective lens and so on to correct the focal shift to thereby acquire the tilted series images.  The apparatus acquires a reference image in advance when the tilted series image is taken, takes correlations between the acquired image and the reference image, and executes the operations of transmitting a warning message and stopping an image acquiring sequence, if the coincidence is at or less than a set value.  Thus, the focusing operation at the time of taking the tilted series images can be performed at a high speed to thereby shorten the time period for taking the tilted series images.  It is possible to eliminate the image which is unsuited for a three-dimensional reconstitution.  Thus, it is also possible to improve the throughput of the failure analysis for a semiconductor or an advanced material.
(FR)L’invention concerne un appareil chargé à rayons corpusculaires destiné à acquérir des images en série inclinées d’un microspécimen durant une courte période de temps. Cet appareil mesure d’abord la relation entre une déviation focale et une coïncidence au moment de l’acquisition des images en série inclinées, compte de nouveau la déviation focale à partir de la coïncidence sur la base de cette relation, et commande une platine, un objectif, etc. pour corriger cette déviation focale et acquérir ainsi les images en série inclinées. Cet appareil acquiert à l’avance une image de référence et, lors de l’acquisition des images en série inclinées, établit des corrélations entre cette image acquise et l’image de référence, et exécute les opérations consistant à transmettre un message d’avertissement et à arrêter la séquence d’acquisition d’images, si la coïncidence est au niveau d’une valeur de consigne ou en deçà. L’opération de focalisation au moment de l’acquisition des images en série inclinées peut donc être exécutée à haute vitesse pour réduire ainsi la période de temps d’acquisition des images en série inclinées. Il est possible d’éliminer toute image inadaptée à une reconstitution tridimensionnelle. Il est donc également possible d’améliorer le rendement de l’analyse de défaillance d’un semi-conducteur ou d’un matériau de pointe.
(JA) 本発明は、微小試料の傾斜シリーズ像を短時間で取得することに関する。 本発明は、傾斜シリーズ像を取得する際の焦点ずれ量と一致度の関係をあらかじめ計測しておき、その関係に基づき一致度から焦点ずれを逆算して、ステージや対物レンズ等を制御して焦点ずれを補正し、傾斜シリーズ像を取得することに関する。また、本発明は、傾斜シリーズ像を撮影する際に参照画像をあらかじめ取得しておき、取得された画像と参照画像との相関を取り、一致度が設定値以下であった場合に、警告メッセージの発信や、画像取得シーケンスの停止、等の処理を実施することに関する。本発明により、傾斜シリーズ像を撮影する際の焦点合わせを高速に行うことが可能となり、傾斜シリーズ像の撮影時間を短縮できる。また、三次元再構築に適さない画像を排除することができる。これにより、半導体や先端材料の不良解析等のスループットを上げることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)