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1. (WO2010010657) ワイヤソーの運転再開方法及びワイヤソー
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/010657    国際出願番号:    PCT/JP2009/002910
国際公開日: 28.01.2010 国際出願日: 25.06.2009
IPC:
B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01)
出願人: Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KITAGAWA, Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KITAGAWA, Koji; (JP)
代理人: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
優先権情報:
2008-191855 25.07.2008 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR RESUMING OPERATION OF WIRE SAW AND WIRE SAW
(FR) PROCÉDÉ DE REPRISE DU FONCTIONNEMENT D’UNE SCIE À FIL ET SCIE À FIL CORRESPONDANTE
(JA) ワイヤソーの運転再開方法及びワイヤソー
要約: front page image
(EN)Disclosed is a method for resuming the operation of a wire saw characterized in that a work is cut while the axial displacement of a grooved roller and the temperature of the work during cutting are measured and recorded, the axial displacement of the grooved roller and the temperature of the work are regulated, to be the same as the displacement and temperature recorded when the cutting of the work is interrupted, by supplying the grooved roller and the work, respectively and independently, with temperature-controlled temperature regulation media after the cutting of the work is interrupted and before the cutting of the work is resumed, and then the cutting of the work is resumed.  A method for resuming the operation of a wire saw and a wire saw, wherein cutting can be resumed and completed without causing any problem with the quality of a product wafer, are thereby provided by preventing the nano-topography from deteriorating after processing even if the cutting of a work is interrupted in the middle due to the disconnection of a wire, or the like, when such a work as a semiconductor ingot is cut by means of a wire saw.
(FR)L’invention concerne un procédé pour reprendre le fonctionnement d’une scie à fil, caractérisé en ce qu'une pièce est coupée pendant que le déplacement axial d’un rouleau cannelé et la température de la pièce pendant la coupe sont mesurés et enregistrés, le déplacement axial du rouleau cannelé et la température de la pièce étant réglés, pour être identiques au déplacement et à la température enregistrés quand la découpe de la pièce est interrompue, en fournissant au rouleau cannelé et à la pièce, respectivement et indépendamment, un moyen de régulation de température à température contrôlée après l’interruption de la découpe de la pièce et avant la reprise de la découpe, et ensuite la découpe de la pièce reprend. L’invention concerne ainsi un procédé pour reprendre le fonctionnement d’une scie à fil et une scie à fil correspondante, la découpe pouvant être reprise et complétée sans provoquer de problème de qualité au niveau d’une tranche, en empêchant la détérioration de la nano-topographie après le traitement, même si la découpe d’une pièce est interrompue, du fait de la déconnexion d’un fil, ou similaire, quand une pièce, comme un lingot semi-conducteur, est coupée au moyen d’une scie à fil.
(JA) 本発明は、ワークの切断中に溝付きローラの軸方向の変位量、及びワークの温度を測定して記録しつつワークを切断し、ワークの切断を中断した後、ワークの切断を再開する前に、溝付きローラとワークに、それぞれ独立に温度制御した温度調整媒体を供給することによって、溝付きローラの軸方向の変位量とワークの温度を、ワークの切断を中断した時に記録した変位量と温度とそれぞれ同じになるように調整した後、切断を再開することを特徴とするワイヤソーの運転再開方法である。これにより、ワイヤソーによる半導体インゴット等のワークの切断において、ワイヤ断線等によってワークの切断が途中で中断された場合でも、加工後のナノトポグラフィーの悪化を抑制して、製品ウェーハに品質的な問題が発生することなく、切断を再開して完了させることができるワイヤソーの運転再開方法及びそのワイヤソーが提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)