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1. (WO2010010638) リン酸含有処理液の再生方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/010638    国際出願番号:    PCT/JP2008/063828
国際公開日: 28.01.2010 国際出願日: 25.07.2008
IPC:
H01L 21/306 (2006.01), C02F 1/60 (2006.01)
出願人: NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawaku, Tokyo 1416024 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SETOGUCHI, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KINOSHITA, Hiromi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIBATA, Junji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SETOGUCHI, Yoshihiro; (JP).
KINOSHITA, Hiromi; (JP).
SHIBATA, Junji; (JP)
代理人: MATSUMOTO, Takehiko; Matsumoto & Associates, 25-6, Hannan-cho 1-chome, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka, 5450021 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHOD OF REGENERATING PHOSPHORIC ACID-CONTAINING TREATMENT LIQUID
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGÉNÉRATION D’UN LIQUIDE DE TRAITEMENT CONTENANT DE L’ACIDE PHOSPHORIQUE
(JA) リン酸含有処理液の再生方法
要約: front page image
(EN)A method of regenerating a phosphoric acid-containing treatment liquid, in which without any residue of other substances affecting the properties of phosphoric acid-containing regenerated liquid, a phosphoric acid-containing treatment liquid can be regenerated with low energy and with high efficiency. The method of regenerating a phosphoric acid-containing treatment liquid is adapted to regenerate a phosphoric acid-containing treatment liquid produced by silicon nitride treatment, characterized in that the phosphoric acid-containing treatment liquid is first mixed with a hydrophobic organic solvent containing a specified organophosphorus compound, subsequently a phase separation is carried out to thereby attain precipitation separation of any silicon compound of the phosphoric acid-containing treatment liquid from the phosphoric acid-containing treatment liquid, and thereafter the phosphoric acid-containing regenerated liquid is recovered.
(FR)L’invention concerne un procédé de régénération d’un liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique, qui permet de régénérer un liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique avec une faible énergie et une grande efficacité, sans que des résidus d’autres substances n’affectent les propriétés de ce liquide. Le procédé de régénération d’un liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique est conçu pour régénérer un liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique obtenu par le traitement de nitrure de silicium. Ledit procédé est caractérisé en ce que le liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique est tout d’abord mélangé à un solvant organique hydrophobe contenant un composé organophosphoreux donné, après quoi une séparation de phase est effectuée de manière à obtenir une séparation par précipitation de tout composé de silicium du liquide de traitement contenant de l’acide phosphorique, le liquide régénéré contenant de l’acide phosphorique étant ensuite récupéré.
(JA)リン酸含有再生液の性質に影響する他の物質の残存はなく、低エネルギーかつ高効率でリン酸含有処理液を再生することのできるリン酸含有処理液の再生方法を提供することを課題とし、かかる課題を解決する手段として、本発明にかかるリン酸含有処理液の再生方法は、窒化珪素の処理により生じたリン酸含有処理液を再生する方法であって、特定の有機リン化合物を含む疎水性有機溶媒と前記リン酸含有処理液をいったん混合させたのち相分離させることにより、前記リン酸含有処理液中の珪素化合物をリン酸含有処理液から析出分離させ、そののち、リン酸含有再生液を回収することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)