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1. (WO2010008030) ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/008030    国際出願番号:    PCT/JP2009/062835
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 15.07.2009
IPC:
G01R 31/28 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01)
出願人: NIDEC-READ CORPORATION [JP/JP]; 10 Tsutsumisoto-cho, Nishikyogoku, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6150854 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NUMATA Kiyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IKUNO Yuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIROBE Kosuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUEMITSU Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAMOTO Masami [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRAI Kensuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NUMATA Kiyoshi; (JP).
IKUNO Yuji; (JP).
HIROBE Kosuke; (JP).
SUEMITSU Atsushi; (JP).
YAMAMOTO Masami; (JP).
HIRAI Kensuke; (JP)
代理人: TAKAHASHI Toshihiro; (JP)
優先権情報:
2008-187137 18.07.2008 JP
2008-301122 26.11.2008 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE-INSPECTING DEVICE HAVING CLEANING MECHANISM FOR TIPS OF PINS
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT COMPRENANT UN MÉCANISME DE NETTOYAGE POUR LES POINTES DE BROCHES
(JA) ピン先端部のクリーニング機構を有する基板検査装置
要約: front page image
(EN)In a process in which a plurality of substrates are successively inspected, the tips of pins are cleaned without interrupting the flow of substrate inspection.  A substrate-inspecting device (10, 70) comprises a conveying means (22, 70) including a conveying path extending from a loading portion to an unloading portion, holders (40) for substrates to be inspected provided along the conveying path at predetermined intervals, and a moving means (22t) for moving the holders along the conveying path.  The substrate-inspecting device (10, 70) also comprises an inspecting section (30) that is provided at a position along the conveying path and successively inspects the substrates to be inspected held by the holders of the conveying means.  The inspecting section includes an inspecting jig (28).  The inspecting jig (28) has a plurality of pins.  The inspecting section (30) brings the pins into contact with inspection points in wiring on the substrates to be inspected and measures the electric characteristics of the wiring.  The substrate-inspecting device (10, 70) further comprises a cleaning means (50) provided between any adjacent holders from among the holders provided along the conveying path at the predetermined intervals.  The cleaning means (50) is moved by the moving means of the conveying means, and cleans the pins when the cleaning means passes through the inspecting section.
(FR)La présente invention concerne un procédé dans lequel plusieurs substrats sont successivement inspectés, les pointes de broches étant nettoyées sans interrompre le déroulement de l'inspection des substrats. Un dispositif d'inspection (10, 70) de substrats comprend un moyen d'acheminement (22, 70) comportant un chemin de transport s'étendant entre une partie de chargement et une partie de déchargement, des supports (40) pour les substrats devant être inspectés étant prévus sur le chemin de transport à des intervalles prédéterminés et un moyen de déplacement (22t) prévu pour déplacer les supports sur le chemin de transport. Le dispositif d'inspection (10, 70) de substrats comprend également une partie d'inspection (30) qui est prévue à un certain endroit sur le chemin de transport et inspecte successivement les substrats devant être inspectés maintenus par les supports du moyen d'acheminement. La partie d'inspection comprend un gabarit d'inspection (28). Le gabarit d'inspection (28) comporte une pluralité de broches. La partie d'inspection (30) place les broches en contact avec des points d'inspection du câblage des substrats devant être inspectés et mesure les caractéristiques électriques du câblage. Le dispositif d'inspection (10, 70) de substrats comprend également un moyen de nettoyage (50) placé entre certains supports adjacents faisant partie des supports présents sur le chemin de transport au niveau des intervalles prédéterminés. Le moyen de nettoyage (50) est déplacé par le moyen de déplacement du moyen d'acheminement et nettoie les broches lorsqu'il passe au niveau de la partie d'inspection.
(JA)【課題】複数の基板を連続的に検査する基板検査を中断することなく、ピン先端部のクリーニングを行う。【解決手段】基板検査装置(10,70)は、搬送路上に所定の間隔で設けられた被検査基板保持部(40)と、被検査基板保持部を搬送路に沿って移動する移動手段(22t)と、搬送路の途中に設けられていて、被検査基板保持部に保持された被検査基板を順次検査する検査部(30)と、搬送路上に所定の間隔で設けられた任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられたクリーニング手段(50)とを備える。検査部は、複数のピンを被検査基板上の配線の検査点に接触させることによって該配線の電気的特性を測定する。クリーニング手段は、移動手段によって移動され、検査部を通過する際に複数のピンのクリーニングを行う。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)