WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2010007981) 成膜装置及び粉体気化装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007981    国際出願番号:    PCT/JP2009/062717
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 14.07.2009
IPC:
H01L 21/31 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/452 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAMURA Akitake [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
DOBASHI Kazuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHI Teruyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAMURA Akitake; (JP).
DOBASHI Kazuya; (JP).
HAYASHI Teruyuki; (JP)
代理人: YOSHITAKE Kenji; (JP)
優先権情報:
2008-187686 18.07.2008 JP
発明の名称: (EN) FILM-FORMING APPARATUS AND POWDER EVAPORATION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE PELLICULE ET APPAREIL D’ÉVAPORATION DE POUDRE
(JA) 成膜装置及び粉体気化装置
要約: front page image
(EN)A raw material powder is supplied from a raw material storage unit, in which the raw material powder in a solid state is stored, to a powder evaporation unit together with a carrier gas; then the raw material powder is changed into a plasma in the powder evaporation unit, thereby being formed into a gaseous raw material; and then the resulting gaseous raw material is supplied to a process chamber.
(FR)Une poudre de matériau brut est introduite à partir d’une unité de stockage de matériau brut, dans laquelle la poudre de matériau brut est entreposée à l'état solide, dans une unité d’évaporation de la poudre en même temps qu’un gaz porteur ; la poudre de matériau brut est alors changée en plasma dans l’unité d’évaporation de poudre, étant ainsi transformée en un matériau gazeux brut ; le matériau gazeux brut est alors introduit dans une chambre de traitement.
(JA) 固体状の原料粉体を貯留する原料貯留部からキャリアガスと共に原料粉体を粉体気化部に供給し、粉体気化部において原料粉体をプラズマ化して気体状の原料とし、これを処理容器へと供給する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)