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1. (WO2010007975) 真空ポンプ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007975    国際出願番号:    PCT/JP2009/062708
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 14.07.2009
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
出願人: Edwards Japan Limited [JP/JP]; 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi, Chiba 2768523 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHTACHI, Yoshinobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NONAKA, Manabu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MAEJIMA, Yasushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHTACHI, Yoshinobu; (JP).
NONAKA, Manabu; (JP).
MAEJIMA, Yasushi; (JP)
代理人: NAKANO, Hitoshi; (JP)
優先権情報:
2008-182364 14.07.2008 JP
2008-182365 14.07.2008 JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ
要約: front page image
(EN)Provided is a vacuum pump which can detect precisely the physical contact between a rotary portion and a stationary portion and the arrival of the accumulation of a solid product at the clearance between the rotary portion and the stationary portion.  A vibration sensor is mounted by making use of a clearance on the outer circumference of a thread groove spacer.  The occurrence of a contact between the rotary portion and the stationary portion is decided, if specific vibrations to be caused by the contact between the rotary portion and the stationary portion exceed a predetermined threshold level.  The vibration sensor is mounted on the outer circumference of the thread groove spacer at the end of the side of an exhaust port.  The thread groove spacer is fixed on an armor through an elastic member (an O-ring) having attenuating characteristics of a cut-off frequency (fc1).  A vibration signal outputted from the vibration sensor is converted into a digital vibration signal, and is inputted to a digital filter having a passing band of fc1 to fc2 [Hz].  If the vibration level of the vibration signal having passed through the digital filter exceeds a predetermined threshold value, it is detected that the contact between the rotary portion and the stationary portion has occurred in a turbo-molecular pump.
(FR)L'invention porte sur une pompe à vide qui peut détecter avec précision le contact physique entre une partie rotative et une partie immobile, et l'arrivée de l'accumulation d'un produit solide au niveau de l'espace entre la partie rotative et la partie immobile. Un capteur de vibration est monté par utilisation d'un espace sur la circonférence externe d'un élément d'espacement de gorge de filetage. L'apparition d'un contact entre la partie rotative et la partie immobile est décidée si des vibrations spécifiques provoquées par le contact entre la partie rotative et la partie immobile dépassent un niveau de seuil prédéterminé. Le capteur de vibration est monté sur la circonférence externe de l'élément d'espacement de gorge de filetage à l'extrémité du côté d'un orifice d'échappement. L'élément d'espacement de gorge de filetage est fixé sur un blindage par l'intermédiaire d'un élément élastique (un joint torique) ayant des caractéristiques d'atténuation d'une fréquence de coupure (fc1). Un signal de vibration délivré par le capteur de vibration est converti en un signal de vibration numérique, et est mis en entrée à un filtre numérique ayant une bande passante de fc1 à fc2 [Hz]. Si le niveau de vibration du signal de vibration ayant traversé le filtre numérique dépasse une valeur de seuil prédéterminée, il est détecté que le contact entre la partie rotative et la partie immobile s'est produit dans une pompe turbo-moléculaire.
(JA) 回転部と固定部との物理的な接触、及び、固体生成物の堆積量が回転部と固定部とのクリアランスに達したことを精度よく検出する。  ねじ溝スペーサの外周面上に空隙を利用して振動センサを設ける。回転部と固定部との接触に起因する特定振動が所定の閾値レベルを超える場合、回転部と固定部との接触が生じたと判断する。また、ねじ溝スペーサの外周面における排気口側の端に振動センサを設ける。遮断周波数fc1の減衰特性を有する弾性部材(Oリング)を介して、ねじ溝スペーサを外装体に固定する。振動センサから出力される振動信号は、デジタル振動信号に変換され、fc1~fc2[Hz]帯域を通過帯域とするデジタルフィルタに入力される。デジタルフィルタを通過した振動信号の振動レベルが所定の閾値を超えた場合、ターボ分子ポンプにおいて回転部と固定部との接触が生じたと検知する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)