WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2010007945) 照明光学系、露光装置、及び露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007945    国際出願番号:    PCT/JP2009/062592
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 10.07.2009
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIRAISHI Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIRAISHI Masayuki; (JP)
代理人: OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2140014 (JP)
優先権情報:
2008-182444 14.07.2008 JP
発明の名称: (EN) ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE D’ÉCLAIRAGE, APPAREIL D’EXPOSITION ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION
(JA) 照明光学系、露光装置、及び露光方法
要約: front page image
(EN)Provided is an illuminating optical system (ILS) wherein a luminous flux outputted from a light source is inputted to a first fly-eye optical system (22), and luminous fluxes outputted from a plurality of mirror elements (22a) configuring the first fly-eye optical system (22) are radiated onto an illuminating region (27R) through a second fly-eye optical system (23) and a capacitor optical system.  A reflection surface of each of the mirror elements (22a) has a width in one direction narrower than that in the direction orthogonally intersecting therewith, and the reflectance distribution of the mirror element (22a) in one direction forms a trapezoidal shape. Intensity distribution of the illuminating region can be nonuniformly set, and respective points in the illuminating region can be illuminated with luminous fluxes having substantially the same open angle.
(FR)L’invention concerne un système optique d’éclairage (ILS). Un flux lumineux émis par une source de lumière est envoyé vers un premier système optique de type œil de mouche (22), et des flux lumineux émis par une pluralité d’éléments miroirs (22a) définissant le premier système optique de type œil de mouche (22) sont émis sur une zone d’illumination (27R) par un second système optique de type œil de mouche (23) et un système optique capacitif. Une surface de réflexion de chacun des éléments miroirs (22a) possède une largeur dans une direction qui est plus étroite que celle s’étendant dans la direction entrant orthogonalement en intersection avec la première, et la distribution de réflectance de l’élément miroir (22a) dans une direction définit une forme trapézoïdale. La distribution d’intensité de la région d’éclairage peut être définie comme non uniforme, et des points respectifs dans la région d’éclairage peuvent être éclairés par des flux lumineux ayant essentiellement le même angle ouvert.
(JA) 光源からの光束を第1フライアイ光学系(22)に入射させ、第1フライアイ光学系(22)を構成する複数のミラー素子(22a)からの光束を第2フライアイ光学系(23)及びコンデンサ光学系を介して照明領域(27R)に照射する照明光学系(ILS)において、複数のミラー素子(22a)の反射面は、それぞれ一方向の幅がそれに直交する方向の幅よりも狭く、ミラー素子(22a)の一方向の反射率分布が台形状となっている。照明領域の強度分布を一様でない分布に設定するととともに、照明領域内の各点をほぼ同じ開き角の分布の光束で照明することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)