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1. (WO2010007863) マイクロ波プラズマ処理装置、及び冷却ジャケットの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007863    国際出願番号:    PCT/JP2009/061477
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 24.06.2009
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHIMOTO Shinya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHIMOTO Shinya; (JP)
代理人: SUYAMA Saichi; (JP)
優先権情報:
2008-183972 15.07.2008 JP
発明の名称: (EN) MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING COOLING JACKET
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA MICRO-ONDES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CHEMISE DE REFROIDISSEMENT
(JA) マイクロ波プラズマ処理装置、及び冷却ジャケットの製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a microwave plasma processing apparatus wherein a slow wave plate and a cooling portion of a cooling jacket are arranged next to each other in a microwave antenna which is a constituent of the microwave plasma processing apparatus.
(FR)L'invention porte sur un appareil de traitement par plasma micro-ondes, une lame d’onde lente et une partie de refroidissement d'une chemise de refroidissement étant agencées à proximité l'une de l'autre dans une antenne à micro-ondes qui est constitutive de l'appareil de traitement par plasma micro-ondes.
(JA)マイクロ波プラズマ処理装置を構成するマイクロ波アンテナにおいて、前記遅波板と前記冷却ジャケットの前記冷却部とが隣接するようにして、マイクロ波プラズマ処理装置を構成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)