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1. (WO2010007816) プローブ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007816    国際出願番号:    PCT/JP2009/056801
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 01.04.2009
IPC:
G01R 1/067 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOMATSU, Shigekazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOMATSU, Shigekazu; (JP)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Kakubari Building 1-20, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
優先権情報:
2008-187899 18.07.2008 JP
発明の名称: (EN) PROBE
(FR) SONDE
(JA) プローブ
要約: front page image
(EN)Disclosed is a probe having a contact portion to be in contact with an object to be inspected. Conductive contact particles are uniformly dispersed inside the contact portion. Some contact particles project from the to-be-inspected object-side surface of the contact portion. A surface of the contact portion opposite to the to-be-inspected object-side is provided with an elastic conductive member. The probe additionally comprises an insulating sheet having a through hole, and the contact portion is so arranged as to penetrate the through hole. The upper part of the contact portion is composed of a conductor containing no contact particles. A surface of the conductor opposite to the to-be-inspected object-side is provided with another conductor.
(FR)L'invention porte sur une sonde comportant une partie de contact devant être en contact avec un objet devant être inspecté. Des particules de contact conductrices sont uniformément dispersées à l'intérieur de la partie de contact. Certaines particules de contact se projettent à partir de la surface côté objet devant être inspecté de la partie de contact. Une surface de la partie de contact opposée au côté objet devant être inspecté comporte un élément conducteur élastique. La sonde comprend de plus une feuille isolante comportant un trou traversant, et la partie de contact est agencée de façon à pénétrer le trou traversant. La partie supérieure de la partie de contact est composée d'un conducteur ne contenant aucune particule de contact. Une surface du conducteur opposée au côté objet devant être inspecté comporte un autre conducteur.
(JA) プローブは、被検査体と接触する接触部を有している。接触部の内部には、導電性を有する接触粒子が分散して均一に配置されている。接触部の被検査体側の表面には、一部の接触粒子が突出している。接触部の被検査体側と反対の面には、弾性を有する導電性部材が配置されている。プローブは、貫通孔が形成された絶縁体シートをさらに有し、接触部は、貫通孔を貫通して配置されている。接触部の上部は、接触粒子を含まない導体からなっている。導体における被検査体側と反対の面には、他の導体がさらに配置されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)