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1. (WO2010007702) ボンディング良否判定方法およびボンディング良否判定装置ならびにボンディング装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/007702    国際出願番号:    PCT/JP2008/072814
国際公開日: 21.01.2010 国際出願日: 16.12.2008
IPC:
H01L 21/60 (2006.01), H01L 21/607 (2006.01)
出願人: SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AOYAGI, Nobuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SEYAMA, Kohei [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOYAGI, Nobuyuki; (JP).
SEYAMA, Kohei; (JP)
代理人: YOSHIDA, Kenji; 34-12, Kichijoji-honcho 1-chome, Musashino-shi, Tokyo, 1800004 (JP)
優先権情報:
2008-184386 16.07.2008 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR JUDGING PASS/FAIL OF BONDING, APPARATUS FOR JUDGING PASS/FAIL OF BONDING, AND BONDING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE RÉUSSITE/ÉCHEC DE LIAISON, APPAREIL DE DÉTERMINATION DE RÉUSSITE/ÉCHEC DE LIAISON, ET APPAREIL DE LIAISON
(JA) ボンディング良否判定方法およびボンディング良否判定装置ならびにボンディング装置
要約: front page image
(EN)An apparatus for judging pass/fail of bonding for a bonding apparatus comprises an ultrasonic horn performing longitudinal vibration in the direction of the central axis by resonating with the vibration of an ultrasonic vibrator; a capillary fixed to the antinode of vibration of the ultrasonic horn; a flange provided at the node of vibration of the ultrasonic horn; a bonding arm; and a load sensor fixed between the center of rotation of the bonding arm and the flange fixing surface while being offset in the direction approaching to and receding from a bonding object from the central axis of the ultrasonic horn in the longitudinal direction. The load sensor continuously detects the load applied to a bonding tool in the direction approaching to and receding from the bonding object at the time of bonding, the maximum value of detected load is set as an impact load and then pass/fail judgment is made on bonding based on the impact load. Consequently, the pass/fail judgment is made on bonding while bonding is being performed.
(FR)L'invention porte sur un appareil de détermination de réussite/échec de liaison pour un appareil de liaison, qui comprend un émetteur d'ultrasons réalisant une vibration longitudinale dans la direction de l'axe central par résonance avec la vibration d'un vibreur ultrasonore ; un capillaire fixé au ventre de vibration de l'émetteur d'ultrasons ; une bride disposée au niveau du nœud de vibration de l'émetteur d'ultrasons ; un bras de liaison ; et un détecteur de charge fixé entre le centre de rotation du bras de liaison et la surface de fixation de bride tout en étant décalé dans la direction s'approchant et s'éloignant d'un objet de liaison à partir de l'axe central de l'émetteur d'ultrasons dans la direction longitudinale. Le détecteur de charge détecte en continu la charge appliquée à un outil de liaison dans la direction s'approchant et s'éloignant de l'objet de liaison au moment de la liaison, la valeur maximale de la charge détectée est fixée en tant que charge d'impact puis une détermination de réussite/échec est réalisée sur la liaison sur la base de la charge d'impact. En conséquence, la détermination de réussite/échec est réalisée sur la liaison tandis que la liaison est réalisée.
(JA) 超音波振動子の振動と共振して中心軸の方向に縦振動する超音波ホーンと、超音波ホーンの振動の腹に取り付けられるキャピラリと、超音波ホーンの振動の節に設けられるフランジと、ボンディングアームと、超音波ホーンの長手方向の中心軸からボンディング対象に対して接離方向にオフセットしてボンディングアームの回転中心とフランジ取り付け面との間に取り付けられる荷重センサと、を備えるボンディング装置のボンディング良否判定装置であって、ボンディングの際に荷重センサによってボンディングツールに加わるボンディング対象に接離方向の荷重を連続的に検出し、検出した荷重の最大値を衝撃荷重とし、衝撃荷重に基づいてボンディング良否の判定を行う。これによって、ボンディングの途中でボンディングの良否を判定することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)