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1. (WO2010005081) 変形計測装置、露光装置、変形計測装置用治具、位置計測方法、及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/005081    国際出願番号:    PCT/JP2009/062612
国際公開日: 14.01.2010 国際出願日: 10.07.2009
IPC:
G01B 7/16 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAMIYAMA Takahide [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJIMAKI Norihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAMIYAMA Takahide; (JP).
FUJIMAKI Norihiko; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
優先権情報:
2008-180492 10.07.2008 JP
2009-125201 25.05.2009 JP
発明の名称: (EN) DEFORMATION MEASURING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, JIG FOR DEFORMATION MEASURING APPARATUS, POSITION MEASURING METHOD AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE DE DÉFORMATION, APPAREIL D'EXPOSITION, GABARIT POUR APPAREIL DE MESURE DE DÉFORMATION, PROCÉDÉ DE MESURE DE POSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 変形計測装置、露光装置、変形計測装置用治具、位置計測方法、及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)A base member (51) is provided with a piezoelectric element (52).  A deformation measuring apparatus has a regulating apparatus (S) which regulates transmission of deformation in a second direction (x) which intersects with a first direction (y), among deformation transmitted to the piezoelectric element through the base member.
(FR)Selon la présente invention, un élément d'embase (51) est pourvu d'un élément piézoélectrique (52). Un dispositif de mesure de déformation possède un appareil régulateur (S) qui régule la transmission d'une déformation dans une seconde direction (x) qui croise une première direction (y), parmi les déformations transmises à l'élément piézoélectrique à travers l'élément d'embase.
(JA) ベース部材(51)に圧電素子(52)が設けられる。変形計測装置は、ベース部材を介して圧電素子に伝達される変形のうち、第1方向(y)と交差する第2方向(x)の変形の伝達を規制する規制装置(S)を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)