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1. (WO2010004937) タッチパネルの製造方法及び成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/004937    国際出願番号:    PCT/JP2009/062206
国際公開日: 14.01.2010 国際出願日: 03.07.2009
IPC:
C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), G06F 3/041 (2006.01), H01B 5/14 (2006.01)
出願人: ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKAHASHI Hirohisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIBASHI Satoru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKAHASHI Hirohisa; (JP).
ISHIBASHI Satoru; (JP)
代理人: SHIGA Masatake; (JP)
優先権情報:
2008-179372 09.07.2008 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURE OF TOUCH PANEL, AND FILM FORMATION APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PANNEAU TACTILE ET APPAREIL DE FABRICATION DE FILM
(JA) タッチパネルの製造方法及び成膜装置
要約: front page image
(EN)Disclosed is a method for manufacturing a touch panel (1) comprising a transparent base plate (11) having a main surface (11a) on which an electrically conductive transparent film (13) is formed.  In the method, the electrically conductive transparent film (13) is formed on the main surface (11a) of the transparent base plate (11) by carrying out a sputtering method by using a target (27) comprising a zinc oxide type material in a reactive gas atmosphere containing two or three gases selected from the group consisting of a hydrogen gas, an oxygen gas and water vapor.
(FR)L'invention porte sur un procédé de fabrication d’un panneau tactile (1) qui comporte une plaque de base transparente (11) présentant une surface principale (11a) sur laquelle est formé un film transparent électriquement conducteur (13). Dans le procédé, le film transparent électriquement conducteur (13) est formé sur la surface principale (11a) de la plaque de base transparente (11) en exécutant un procédé de pulvérisation cathodique à l'aide d'une cible (27) comportant un matériau du type oxyde de zinc dans une atmosphère de gaz réactif contenant deux ou trois gaz choisis dans le groupe constitué par un gaz hydrogène, un gaz oxygène et de la vapeur d'eau.
(JA) このタッチパネルの製造方法は、透明導電膜(13)が成膜された主面(11a)を有する透明基板(11)を含むタッチパネル(1)の製造方法であって、前記透明基板(11)の前記主面(11a)上に、水素ガス、酸素ガス、水蒸気の群から選択される2種または3種を含む反応性ガス雰囲気中にて酸化亜鉛系材料からなるターゲット(27)を用いてスパッタ法を行うことにより、前記透明導電膜(13)を成膜する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)