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1. (WO2010004861) 酸化ランタン基焼結体、同焼結体からなるスパッタリングターゲット、酸化ランタン基焼結体の製造方法及び同製造方法によるスパッタリングターゲットの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/004861    国際出願番号:    PCT/JP2009/061352
国際公開日: 14.01.2010 国際出願日: 23.06.2009
予備審査請求日:    27.10.2009    
IPC:
C04B 35/50 (2006.01), C04B 35/00 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01)
出願人: JX Nippon Mining & Metals Corporation [JP/JP]; 6-3, Otemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008164 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SATOH Kazuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOIDO Yoshimasa [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SATOH Kazuyuki; (JP).
KOIDO Yoshimasa; (JP)
代理人: OGOSHI Isamu; OGOSHI International Patent Office Daini-Toranomon Denki Bldg., 5F, 3-1-10 Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2008-176538 07.07.2008 JP
発明の名称: (EN) LANTHANUM OXIDE-BASED SINTERED OBJECT, SPUTTERING TARGET COMPRISING THE SINTERED OBJECT, PROCESS FOR PRODUCING LANTHANUM OXIDE-BASED SINTERED OBJECT, AND PROCESS FOR SPUTTERING TARGET PRODUCTION USING THE PROCESS
(FR) OBJET FRITTÉ À BASE D'OXYDE DE LANTHANE, CIBLE DE PULVÉRISATION COMPRENANT L'OBJET FRITTÉ, PROCÉDÉ POUR PRODUIRE L'OBJET FRITTÉ À BASE D'OXYDE DE LANTHANE, ET PROCÉDÉ POUR PRODUIRE UNE CIBLE DE PULVÉRISATION EN UTILISANT LE PROCÉDÉ
(JA) 酸化ランタン基焼結体、同焼結体からなるスパッタリングターゲット、酸化ランタン基焼結体の製造方法及び同製造方法によるスパッタリングターゲットの製造方法
要約: front page image
(EN)A lanthanum oxide-based sintered object which comprises lanthanum oxide as a basic component, the sintered object containing one or more of titanium oxide, zirconium oxide, and hafnium oxide, with the remainder being lanthanum oxide and incidental impurities.  A process for producing a lanthanum oxide-based sintered object is provided which comprises: using an La2(CO3)3 powder or La2O3 powder as a lanthanum oxide source powder and one or more of TiO2, ZrO2, and HfO2 powders as an additive oxide; mixing the powders so that the proportion of the metallic component of each additive oxide becomes a given value in terms of metal amount; thereafter heating the powder mixture in the air to conduct synthesis; subsequently pulverizing the synthesized material into a powder; and then hot-pressing the synthesis powder to form a sintered object.  The sintered object is prevented from combining with water or carbon dioxide gas to form a hydroxide, etc. and thereby changing to a powder, and can be stored for long.  Also provided is a technique in which an oxide for use as a high-k gate insulating film can be efficiently and stably provided by conducting film deposition using the sputtering target.
(FR)L'invention concerne un objet fritté à base d'oxyde de lanthane qui comprend un oxyde de lanthane comme composant de base, l'objet fritté contenant un ou plusieurs éléments parmi l'oxyde de titane, l'oxyde de zirconium, et l'oxyde d'hafnium, le reste étant constitué d'oxyde de lanthane et impuretés occasionnelles. Elle concerne un procédé de production d'un objet fritté à base d'oxyde de lanthane qui comprend : l'utilisation d'une poudre de La2(CO3)3 ou d'une poudre de La2O3 comme poudre source d'oxyde de lanthane, et d'une ou plusieurs poudres de TiO2, ZrO2, et HfO2 en tant qu'oxyde additif ; le mélange des poudres pour que la proportion du composant métallique de chaque additif atteigne une valeur donnée en terme de quantité de métal ; puis le chauffage du mélange de poudres dans l'air pour effectuer la synthèse ; et ensuite la pulvérisation du matériau synthétisé en une poudre ; et enfin le pressage à chaud de la poudre de synthèse pour former un objet fritté. La combinaison de l'objet fritté avec l'eau ou le dioxyde de carbone gazeux pour former un hydroxyde, etc. est empêchée, et cette transformation en poudre permet d'allonger la durée de stockage. L'invention concerne également une technique qui permet d'obtenir efficacement et de façon stable un oxyde destiné à être utilisé comme film isolant à constante k élevée en procédant à un dépôt de film au moyen de la cible de pulvérisation.
(JA)酸化ランタンを基本成分とする焼結体であって、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウムの一又は二以上を含有し、残部が酸化ランタン及び不可避的不純物である酸化ランタン基焼結体。酸化ランタン原料粉末としてLa(CO粉末又はLa粉末と、添加酸化物としてTiO、ZrO、HfO粉末の一又は二以上とを使用し、メタル換算で添加酸化物の金属成分の組成比を所定の値になるように配合し混合した後、この混合粉末を大気中で加熱合成し、次にこの合成材料を粉砕して粉末とした後、この合成粉末をホットプレスして焼結体とする酸化ランタン基焼結体の製造方法。本発明は、水分や炭酸ガスと結合して水酸化物などを形成し粉状に変化するのを防止し、長期間の保管を可能とするものである。また、このスパッタリングターゲットを使用して成膜することにより、High-kゲート絶縁膜用酸化物を効率的かつ安定して提供できる技術を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)