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1. (WO2010004642) ウエハ収納容器
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/004642    国際出願番号:    PCT/JP2008/062559
国際公開日: 14.01.2010 国際出願日: 11.07.2008
予備審査請求日:    07.04.2010    
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
出願人: MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 18-2, Nishi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1710021 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MATSUTORI, Chiaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IIMURA, Yasuharu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGASHIMA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MATSUTORI, Chiaki; (JP).
IIMURA, Yasuharu; (JP).
NAGASHIMA, Tsuyoshi; (JP)
代理人: MITSUI, Kazuhiko; Wakatsuki Bldg. 7F, 7-1, Nishi-Shinjuku, 5-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) WAFER STORAGE CONTAINER
(FR) CONTENANT DE STOCKAGE DE TRANCHES
(JA) ウエハ収納容器
要約: front page image
(EN)A storage container main body (11) is provided with a Z reference plane (30Z) where the storage container main body (11) is held on a plane stand (101Z) without rattling in a state where each of semiconductor wafers (W) maintains a prescribed distance to the plane stand (101Z); a Y reference plane (40Y) where the storage container main body (11) abuts on a vertical plane wall (101Y) without rattling in a state where each of the semiconductor wafers (W) maintains the prescribed distance to the vertical plane wall (101Y); and X direction positioning parts (51, 52 and 53X) for positioning the storage container main body (11) in parallel directions both to the plane stand (101Z) and the vertical plane wall (101Y). Thus, the wafer (W) can smoothly be taken in/out by a robot hand (102) without deterioration in positioning accuracy of the semiconductor wafer (W) after repetitive use even if container weight increases.
(FR)L'invention porte sur un corps principal de contenant de stockage (11) qui comporte un plan de référence Z (30Z) dans lequel le corps principal de contenant de stockage (11) est disposé sur un support plan (101Z) sans ballottement dans un état dans lequel chacune des tranches semi-conductrices (W) maintient une distance prescrite par rapport au support plan (101Z) ; un plan de référence Y (40Y) dans lequel le corps principal de contenant de stockage (11) vient en butée sur une paroi plane verticale (101Y) sans ballottement dans un état où chacune des tranches semi-conductrices (W) maintient la distance prescrite par rapport à la paroi plane verticale (101Y) ; et des parties de positionnement dans la direction X (51, 52 et 53X) pour positionner le corps principal du contenant de stockage (11) dans des directions parallèles à la fois au support plan (101Z) et à la paroi de plan vertical (101Y). La tranche (W) peut ainsi être installée/prélevée sans à-coup par la main d’un robot (102) sans qu’une utilisation répétée, même si le poids du contenant augmente, ne diminue la précision du positionnement de la tranche semi-conductrice (W).
(JA) 平面台(101Z)に対し各半導体ウエハ(W)が所定距離を維持する状態で収納容器本体(11)が平面台(101Z)上にガタつきなく保持されるZ基準平面(30Z)と、垂直平面壁(101Y)に対し各半導体ウエハ(W)が所定距離を維持する状態で垂直平面壁(101Y)にガタつきなく当接するY基準平面(40Y)と、平面台(101Z)と垂直平面壁(101Y)の双方に対して平行な方向における収納容器本体(11)の位置決めをするためのX方向位置決め部(51,52,53X)とが収納容器本体(11)に設けられている。それによって、容器重量が増加しても、繰り返し使用後に半導体ウエハ(W)の位置決め精度が低下せず、ロボットハンド(102)等による半導体ウエハ(W)の出し入れを円滑に行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)