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1. (WO2010004619) 半導体素子の素子分離方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/004619    国際出願番号:    PCT/JP2008/062340
国際公開日: 14.01.2010 国際出願日: 08.07.2008
IPC:
H01L 21/76 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SONG, Il Seok [KR/KR]; (KR) (米国のみ).
YOON, Jong Hwan [KR/KR]; (KR) (米国のみ).
KWON, Tae Chun [KR/KR]; (KR) (米国のみ).
KIM, Hak Chan [KR/KR]; (KR) (米国のみ)
発明者: SONG, Il Seok; (KR).
YOON, Jong Hwan; (KR).
KWON, Tae Chun; (KR).
KIM, Hak Chan; (KR)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Kakubari Building 1-20, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHOD FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT ISOLATION
(FR) PROCÉDÉ POUR ISOLEMENT D’ÉLÉMENT SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体素子の素子分離方法
要約: front page image
(EN)This invention provides a method for semiconductor element isolation, comprising the step of forming a trench in a substrate having an upper surface on which a pad oxide film has been vapor deposited, the step of forming a side wall oxide film on the inner surface of the trench, the step of removing the upper part of the side wall oxide film so that the height of the upper surface of the side wall oxide film is lower than the upper surface of the substrate, the step of forming a gap embedding oxide film in the trench, and the step of removing the pad oxide film to expose the upper surface of the substrate. The step of removing the upper part of the side wall oxide film may be carried out by etching the side wall oxide film with HF gas or NF3 gas. The step of exposing the upper surface of the substrate may be carried out by etching the pad oxide film with HF gas or NF3 gas. Before the step of forming the trench, a nitride film may be vapor deposited on the upper surface of the pad oxide film.
(FR)La présente invention a trait à un procédé pour l’isolement d’élément semi-conducteur comprenant les étapes consistant à former une tranchée dans un substrat doté d’une surface supérieure sur laquelle un film d’oxyde de plage de connexion a subi un dépôt en phase vapeur, former un film d’oxyde de paroi latérale sur la surface intérieure de la tranchée, éliminer la partie supérieure du film d’oxyde de paroi latérale de manière à ce que la hauteur de la surface supérieure du film d’oxyde de paroi latérale soit inférieure à la surface supérieure du substrat, former un film d’oxyde incluant un interstice dans la tranchée, et éliminer le film d’oxyde de plage de connexion en vue d’exposer la surface supérieure du substrat. L’étape consistant à éliminer la partie supérieure du film d’oxyde de paroi latérale peut être mise en œuvre par gravure du film d’oxyde de paroi latérale à l’aide de gaz HF ou de gaz NF3. L’étape consistant à exposer la surface supérieure du substrat peut être mise en œuvre par gravure du film d’oxyde de plage de connexion à l’aide de gaz HF ou de gaz NF3. Avant l’étape consistant à former la tranchée, un film de nitrure peut subir un dépôt en phase vapeur sur la surface supérieure du film d’oxyde de plage de connexion.
(JA) 本発明の半導体素子の素子分離方法は、上面にパッド酸化膜が蒸着された基板にトレンチを形成する段階と、上記トレンチの内側面に側壁酸化膜を形成する段階と、上記側壁酸化膜の上面の高さが上記基板の上面より低くなるように上記側壁酸化膜の上部を除去する段階と、上記トレンチにギャップ埋め込み酸化膜を形成する段階、及び上記パッド酸化膜を除去して前記基板上面を露出させる段階と、を含む。なお、上記側壁酸化膜の上部を除去する段階は、HFガスまたはNFガスを用いて側壁酸化膜をエッチングしてもよく、上記基板上面を露出させる段階は、HFガスまたはNFガスを用いてパッド酸化膜をエッチングしてもよい。また、前記トレンチを形成する段階の前に、前記パッド酸化膜の上面に窒化膜を蒸着させてもよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)