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1. (WO2010001781) スピン処理装置及びスピン処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2010/001781    国際出願番号:    PCT/JP2009/061501
国際公開日: 07.01.2010 国際出願日: 24.06.2009
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
出願人: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAYASHI, Konosuke [JP/JP]; (米国のみ)
発明者: HAYASHI, Konosuke;
代理人: SUZUYE, Takehiko; (JP)
優先権情報:
2008-170306 30.06.2008 JP
発明の名称: (EN) SPIN PROCESSING APPARATUS AND SPIN PROCESSING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR ROTATION ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR ROTATION
(JA) スピン処理装置及びスピン処理方法
要約: front page image
(EN)A spin processing apparatus for processing a substrate by sequentially supplying plural kinds of processing solutions thereto is provided with a cup body (1), a rotary table (8) which is provided in the cup body and is rotationally driven while holding the substrate, a processing solution receiving body (16) which is ring-shaped with the upper surface open, is provided between the inner periphery of the cup body and the outer periphery of the rotary table so as to be able to be vertically driven, and receives the processing solution scattered from the rotating substrate, a linear motor (21) which sets the height of the processing solution receiving body by vertically driving the processing solution receiving body according to the kind of the processing solution supplied to the substrate, and a first to third separation flow paths (27a-27c) which are provided in the cup body and separate and recover the processing solution received by the processing solution receiving body according to the height of the processing solution receiving body set by the linear motor.
(FR)L'invention porte sur un appareil de traitement par rotation pour traiter un substrat par alimentation de manière séquentielle de plusieurs types de solutions de traitement à celui-ci, lequel appareil comporte un corps de coupelle (1), une table rotative (8) qui est disposée dans le corps de coupelle et est entraînée en rotation tout en maintenant le substrat, un corps de réception de solution de traitement (16) qui est en forme d'anneau avec la surface supérieure ouverte, disposé entre la périphérie interne du corps de coupelle et la périphérie externe de la table rotative de façon à être capable d'être entraîné verticalement, et qui reçoit la solution de traitement diffusée à partir du substrat rotatif, un moteur linéaire (21) qui règle la hauteur du corps de réception de solution de traitement par entraînement vertical du corps de réception de solution de traitement conformément au type de la solution de traitement fournie au substrat, et des premier à troisième trajets d'écoulement de séparation (27a à 27c) qui sont disposés dans le corps de coupelle et séparent et récupèrent la solution de traitement reçue par le corps de réception de solution de traitement en fonction de la hauteur du corps de réception de solution de traitement réglée par le moteur linéaire.
(JA) 基板に複数種の処理液を順次供給して処理するスピン処理装置であって、カップ体(1)と、カップ体内に設けられ基板を保持して回転駆動される回転テーブル(8)と、上面が開口したリング状をなしていて、カップ体の内周と回転テーブルの外周との間に上下方向に駆動可能に設けられ回転する基板から飛散する処理液を受ける処理液受け体(16)と、基板に供給される処理液の種類に応じて処理液受け体を上下方向に駆動してその高さを設定するリニアモータ(21)と、カップ体に設けられ処理液受け体が受けた処理液を処理液受け体がリニアモータによって設定された高さに応じて分離して回収する第1乃至第3の分離流路(27a~27c)を具備する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)