(EN) Provided is a bipolar pulse power source which can effectively limit a current increase upon generation of arc discharge which causes generation of splash and particles and prevent generation of overvoltage upon polarity inversion. The bipolar pulse power source includes a bridge circuit (22) formed by switching elements (SW1 to SW4) connected between the positive and the negative DC output from a DC power supply source (1) and controls operation of the switching elements so as to perform a bipolar pulse-shaped output with a predetermined frequency to a pair of electrodes in contact with plasma. An output characteristic switching circuit is provided for switching the output so that the output to the electrode has a constant voltage characteristic at the first stage and then the output to the electrode has a constant current characteristic.
(FR) L'invention concerne une source de puissance d'impulsion bipolaire qui peut efficacement limiter un accroissement de courant lors de la génération de décharge en arc qui entraîne la génération de projection et de particules et empêcher la génération de surtension lors de l'inversion de polarité. La source de puissance d'impulsion bipolaire comprend un circuit en pont (22) formé par des éléments de commutation (SW1 à SW4) connectés entre la sortie CC positive et négative d'une source d'alimentation de puissance CC (1) et commande le fonctionnement des éléments de commutation afin d'effectuer une sortie en forme d'impulsion bipolaire avec une fréquence prédéterminée au niveau d'une paire d'électrodes en contact avec le plasma. Un circuit de commutation à caractéristique de sortie permet de commuter la sortie de sorte que cette sortie au niveau de l'électrode présente une caractéristiques de tension constante au premier stade et qu'ensuite la sortie au niveau de l'électrode présente une caractéristique de courant constante.
(JA) スプラッシュやパーティクルの発生に直結するアーク放電発生時の電流上昇を効果的に制限しつつ、極性反転時に過電圧が生じることを防止できるようにしたバイポーラパルス電源を提供する。 直流電力供給源１からの正負の直流出力間に接続されたスイッチング素子ＳＷ１乃至ＳＷ４から構成されるブリッジ回路２２を備え、スイッチング素子の作動を制御してプラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に出力する。その際、その当初は前記電極への出力が定電圧特性を有し、その後に前記電極への出力が定電流特性を有するように前記出力を切り換える出力特性切換回路を設ける。