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1. WO2009145091 - バイポーラパルス電源及び複数のバイポーラパルス電源からなる電源装置

公開番号 WO/2009/145091
公開日 03.12.2009
国際出願番号 PCT/JP2009/059271
国際出願日 20.05.2009
IPC
H02M 7/48 2007.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
M交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
7交流入力一直流出力変換;直流入力―交流出力変換
42直流入力―交流出力変換であって非可逆的なもの
44静止型変換器によるもの
48制御電極をもつ放電管または制御電極をもつ半導体装置を用いるもの
C23C 14/34 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
H02M 7/5387 2007.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
M交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
7交流入力一直流出力変換;直流入力―交流出力変換
42直流入力―交流出力変換であって非可逆的なもの
44静止型変換器によるもの
48制御電極をもつ放電管または制御電極をもつ半導体装置を用いるもの
53制御信号の連続的印加を必要とする三極管またはトランジスタ型式の装置を用いるもの
537半導体装置のみを用いるもの(例.1石型インバータ)
5387ブリッジ構成におけるもの
CPC
C23C 14/352
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
35by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
352using more than one target
H02M 7/493
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
7Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
42Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
44by static converters
48using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
493the static converters being arranged for operation in parallel
H02M 7/53871
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
7Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
42Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
44by static converters
48using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
53using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
537using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
5387in a bridge configuration
53871with automatic control of output voltage or current
出願人
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 堀下 芳邦 HORISHITA Yoshikuni [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 松原 忍 MATSUBARA Shinobu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小野 敦 ONO Atsushi [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 堀下 芳邦 HORISHITA Yoshikuni
  • 松原 忍 MATSUBARA Shinobu
  • 小野 敦 ONO Atsushi
代理人
  • 特許業務法人青莪 SEIGA Patent and Trademark Corporation
優先権情報
2008-13707726.05.2008JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) BIPOLAR PULSE POWER SOURCE AND POWER SOURCE DEVICE FORMED BY A PLURALITY OF BIPOLAR PULSE POWER SOURCES
(FR) SOURCE DE PUISSANCE D'IMPULSION BIPOLAIRE ET DISPOSITIF DE SOURCE DE PUISSANCE FORMÉ PAR UNE PLURALITÉ DE SOURCES DE PUISSANCE D'IMPULSION BIPOLAIRE
(JA) バイポーラパルス電源及び複数のバイポーラパルス電源からなる電源装置
要約
(EN)
Provided is a bipolar pulse power source which can effectively limit a current increase upon generation of arc discharge which causes generation of splash and particles and prevent generation of overvoltage upon polarity inversion. The bipolar pulse power source includes a bridge circuit (22) formed by switching elements (SW1 to SW4) connected between the positive and the negative DC output from a DC power supply source (1) and controls operation of the switching elements so as to perform a bipolar pulse-shaped output with a predetermined frequency to a pair of electrodes in contact with plasma.  An output characteristic switching circuit is provided for switching the output so that the output to the electrode has a constant voltage characteristic at the first stage and then the output to the electrode has a constant current characteristic.
(FR)
L'invention concerne une source de puissance d'impulsion bipolaire qui peut efficacement limiter un accroissement de courant lors de la génération de décharge en arc qui entraîne la génération de projection et de particules et empêcher la génération de surtension lors de l'inversion de polarité. La source de puissance d'impulsion bipolaire comprend un circuit en pont (22) formé par des éléments de commutation (SW1 à SW4) connectés entre la sortie CC positive et négative d'une source d'alimentation de puissance CC (1) et commande le fonctionnement des éléments de commutation afin d'effectuer une sortie en forme d'impulsion bipolaire avec une fréquence prédéterminée au niveau d'une paire d'électrodes en contact avec le plasma. Un circuit de commutation à caractéristique de sortie permet de commuter la sortie de sorte que cette sortie au niveau de l'électrode présente une caractéristiques de tension constante au premier stade et qu'ensuite la sortie au niveau de l'électrode présente une caractéristique de courant constante.
(JA)
 スプラッシュやパーティクルの発生に直結するアーク放電発生時の電流上昇を効果的に制限しつつ、極性反転時に過電圧が生じることを防止できるようにしたバイポーラパルス電源を提供する。  直流電力供給源1からの正負の直流出力間に接続されたスイッチング素子SW1乃至SW4から構成されるブリッジ回路22を備え、スイッチング素子の作動を制御してプラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に出力する。その際、その当初は前記電極への出力が定電圧特性を有し、その後に前記電極への出力が定電流特性を有するように前記出力を切り換える出力特性切換回路を設ける。  
国際事務局に記録されている最新の書誌情報