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1. (WO2009131036) 成膜方法及び成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/131036    国際出願番号:    PCT/JP2009/057494
国際公開日: 29.10.2009 国際出願日: 14.04.2009
IPC:
C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01), G02B 5/08 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa, 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOBAYASHI, Yousuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHI, Nobuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IIJIMA, Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TADA, Isao [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOBAYASHI, Yousuke; (JP).
HAYASHI, Nobuhiro; (JP).
IIJIMA, Masayuki; (JP).
TADA, Isao; (JP)
代理人: ABE, Hideki; Toranomonkougyou Bldg., 3F, 1-2-18, Toranomon, Minato-ku Tokyo, 1050001 (JP)
優先権情報:
2008-115290 25.04.2008 JP
発明の名称: (EN) FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法及び成膜装置
要約: front page image
(EN)Provided is a reflective film-forming technique which can simplify and reduce the cost of the film-forming apparatus configuration. The film-forming method of the present invention comprises a reflective film-formation step (P2) for forming a light-reflecting film by performing vapor deposition on an object while introducing air into a film-formation region, a polymer film formation step (P3) for forming a water-repellent polymer film on this reflective film, and a hydrophilization treatment step (P5) for performing hydrophilization treatment by plasma on the above-mentioned water-repellent polymer film while introducing air into the film-formation region. This invention enables formation of the reflective film and hydrophilization treatment of the polymer film without use of argon gas.
(FR)L'invention porte sur une technique de formation de film réfléchissant qui peut simplifier et réduire le coût de la configuration d'appareil de formation de film. Le procédé de formation de film de la présente invention comprend une étape de formation de film réfléchissant (P2) pour former un film réfléchissant la lumière par réalisation d'un dépôt en phase vapeur sur un objet tout en introduisant de l'air à l'intérieur d'une région de formation de film, une étape de formation de film polymère (P3) pour former un film polymère hydrofuge sur ce film réfléchissant, et une étape de traitement d'hydrophilisation (P5) pour effectuer un traitement d'hydrophilisation par plasma sur le film polymère hydrofuge mentionné ci-dessus tout en introduisant de l'air dans la région de formation de film. Cette invention permet la formation du film réfléchissant et le traitement d'hydrophilisation du film polymère sans utilisation de gaz argon.
(JA) 本発明は、装置構成の簡素化及びコストダウンが可能な反射膜形成技術を提供するものである。本発明の成膜方法は、成膜領域に空気を導入しつつ成膜対象物上に蒸着によって光反射性の反射膜を形成する反射膜形成工程(P2)と、この反射膜上に撥水性重合体膜を形成する重合体膜形成工程(P3)と、成膜領域に空気を導入しつつ前記撥水性重合体膜上にプラズマによる親水化処理を施す親水化処理工程(P5)とを有する。本発明によれば、アルゴンガスを用いることなく反射膜の形成及び重合体膜の親水化処理を行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)