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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009131022) 分析方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/131022    国際出願番号:    PCT/JP2009/057384
国際公開日: 29.10.2009 国際出願日: 10.04.2009
G01N 23/227 (2006.01), G01N 1/32 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ULVAC-PHI, INC. [JP/JP]; 370, Enzo, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538522 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUNIBE, Toshijyu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SANADA, Noriaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAKAI, Daisuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KUNIBE, Toshijyu; (JP).
SANADA, Noriaki; (JP).
SAKAI, Daisuke; (JP)
代理人: ISHIJIMA, Shigeo; Toranomonkougyou Bldg., 3F, 1-2-18, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
2008-112852 23.04.2008 JP
(JA) 分析方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is an analytical method that can analyze a functional organic compound with a high accuracy. Cluster ions are accelerated and introduced into a sample (18) so that the kinetic energy of cluster ions is less than 3.1 eV per atom constituting the cluster ion. The functional organic compound in the sample (18) is etched without breaking of the chemical structure. Accordingly, the functional organic compound, which is not chemically modified, is exposed on the surface of the sample (18). When etching and the surface analysis of the sample (18) are alternately carried out or when the surface analysis of the sample (18) is carried out while performing etching, the sample (18) can be accurately analyzed in the direction of depth.
(FR)L'invention porte sur un procédé analytique qui peut analyser un composé organique fonctionnel avec une précision élevée. Des ions en grappe sont accélérés et introduits à l'intérieur d'un échantillon (18), de telle sorte que l'énergie cinétique des ions en grappe est inférieure à 3,1 eV par atome constituant l'ion en grappe. Le composé organique fonctionnel dans l'échantillon (18) est attaqué sans rupture de la structure chimique. En conséquence, le composé organique fonctionnel, qui n'est pas chimiquement modifié, est exposé sur la surface de l'échantillon (18). Lorsque l'attaque et l'analyse de surface de l'échantillon (18) sont réalisées de façon alternée ou lorsque l'analyse de surface de l'échantillon (18) est réalisée tout en effectuant l'attaque, l'échantillon (18) peut être précisément analysé dans la direction de la profondeur.
(JA) 機能性有機化合物を精度よく分析する。本発明は、クラスターイオンの運動エネルギーが、該クラスターイオンを構成する原子の個数1個当たり3.1eV未満になるように、クラスターイオンを加速して試料18に入射させる。試料18中の機能性有機化合物は、化学構造が破壊されずにエッチングされるから、試料18表面には化学変性していない機能性有機化合物が露出する。エッチングと試料18の表面分析を交互に行う、又はエッチングしながら試料18の表面分析を行えば、試料18を深さ方向に正確に分析できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)