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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009130832) 非接触型走査プローブ顕微鏡

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/130832    国際出願番号:    PCT/JP2009/000591
国際公開日: 29.10.2009 国際出願日: 16.02.2009
G01Q 30/02 (2010.01), G01Q 60/00 (2010.01), G01Q 60/32 (2010.01), G01Q 80/00 (2010.01)
出願人: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OGURA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OGURA, Toshihiko; (JP)
代理人: OHNO, Seiji; OHNO & PARTNERS, Kasumigaseki Building 36F, 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006036 (JP)
2008-115128 25.04.2008 JP
2008-325961 22.12.2008 JP
(JA) 非接触型走査プローブ顕微鏡
要約: front page image
(EN)A sample (13) is placed on a sample stage (11), a first probe (14) is arranged on the front surface of the sample stage and a second probe (15) is arranged on the rear surface of the sample stage. An alternating current signal at a frequency same as the mechanical resonance frequency of a cantilever, i.e., the second probe (15), is applied with an amplitude of several volts to the first probe (14) from an FM detection module (18), a signal which has been modulated by the sample (13) is sensed (detected) by an leading end section of the second probe (15), and the cantilever resonates by such signal. The resonant oscillation based on such interaction is detected as an electrical signal by the cantilever (15), an amplitude change and a frequency change of the detection signal are processed by a control PC (20), and image information (mapping image) is formed based on amplitude change information and frequency change information.
(FR)Un échantillon (13) est placé sur un étage d’échantillon (11); une première sonde (14) est disposée sur la face avant de l’étage d’échantillon et une seconde sonde (15) est disposée sur la face arrière de l’étage d’échantillon. Un signal de courant alternatif à une fréquence identique à la fréquence de résonance mécanique d’un cantilever, à savoir la seconde sonde (15), est appliqué avec une amplitude de plusieurs volts sur la première sonde (14) à partir d’un module de détection FM (18); un signal qui a été modulé par l’échantillon (13) est capté (détecté) par une section d’extrémité avant de la seconde sonde (15) et ce signal fait résonner le cantilever. L’oscillation résonante basée sur une telle interaction est détectée sous la forme d’un signal électrique par le cantilever (15); un changement d’amplitude et un changement de fréquence du signal de détection sont traités par un PC de commande (20); et des informations d’image (image de projection) sont formées sur la base des informations de changement d’amplitude et des informations de changement de fréquence.
(JA) 試料ステージ(11)の上に試料(13)が載置され、その表面に第1のプローブ(14)が、裏面に第2のプローブ(15)が配置されている。第1のプローブ(14)にはFM検出モジュール(18)から、第2のプローブ(15)であるカンチレバーの機械的な共振周波数と同じ周波数の交流信号が数Vの振幅で印加され、第2のプローブ(15)の先端部により試料(13)により変調された後の信号が感知(検出)されてカンチレバーは当該信号により共振する。このような相互作用に基づく共振振動は、カンチレバー(15)により電気信号として検出され、検出信号の振幅変化と周波数変化は、コントロールPC(20)により処理されて、振幅変化情報および周波数変化情報に基づいて画像情報(マッピング像)が形成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)