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1. (WO2009128488) 照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/128488    国際出願番号:    PCT/JP2009/057631
国際公開日: 22.10.2009 国際出願日: 16.04.2009
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KATO, Masaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KATO, Masaki; (JP)
代理人: FUJIMOTO, Yoshihiro; VerdyNOGIZAKA 2F 14-7, Minamiaoyama 1-chome Minato-ku, Tokyo 1070062 (JP)
優先権情報:
2008-107592 17.04.2008 JP
発明の名称: (EN) ILLUMINATION DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) 照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is an illumination device (IL) for irradiating illumination light on a patterned mask (M). The illumination device comprises partial illumination optical systems (IL2 - IL6) (first irradiation unit) for irradiating the illumination light on a first pattern region on the mask (M); partial illumination optical systems (IL1, IL7) (second irradiation unit) for irradiating the illumination light on a second pattern region different from the first pattern region on the mask (M); and a light guide (13) for splitting the incident illumination light from incident units (12a - 12c) and guiding illumination light having different light quantities to the first irradiation unit and the second irradiation unit.
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'éclairage (IL) destiné à irradier une lumière d'éclairage sur un masque structuré (M). Le dispositif d'éclairage comporte des systèmes optiques d'éclairage partiel (IL2 – IL6) (première unité d'irradiation) pour irradier la lumière d'éclairage sur une première région structurée du masque (M) ; des systèmes optiques d'éclairage partiel (IL1, IL7) (seconde unité d'irradiation) pour irradier la lumière d'éclairage sur une deuxième région structurée, différente de la première région structurée du masque (M), et un guide d'ondes (13), pour diviser la lumière d'éclairage incidente provenant des unités de lumière incidente (12a – 12c), et pour guider la lumière d'éclairage, ayant différentes quantités de lumière, vers la première unité d'irradiation et la seconde unité d'irradiation.
(JA) パターンが設けられたマスクMに照明光を照射する照明装置ILにおいて、前記マスクM上の第1パターン領域に前記照明光を照射する部分照明光学系IL2~IL6(第1照射部)と、前記マスクM上の前記第1パターン領域と異なる第2パターン領域に前記照明光を照射する部分照明光学系IL1,IL7(第2照射部)と、入射部12a~12cから入射した前記照明光を分岐させ、前記第1照射部および前記第2照射部へ異なる光量の前記照明光を導出するライトガイド13とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)