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1. (WO2009125802) 蒸発源及び成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125802    国際出願番号:    PCT/JP2009/057227
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 08.04.2009
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa, 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMAMOTO, Haruhiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOKUBU, Kenjiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMAMOTO, Haruhiko; (JP).
KOKUBU, Kenjiro; (JP)
代理人: ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome, Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
優先権情報:
2008-101605 09.04.2008 JP
発明の名称: (EN) EVAPORATION SOURCE AND FILM-FORMING DEVICE
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM
(JA) 蒸発源及び成膜装置
要約: front page image
(EN)Provided is an evaporation source (20) which improves the utilization efficiency of a film-forming material (29) without diminishing maintainability. The evaporation source (20) comprises: one tube-shaped peripheral wall (25) having a plurality of containment spaces (25S); and a plurality of dividing walls (27) that partition the area inside the peripheral wall (25) into the plurality of containment spaces. A plurality of holes (28) are formed in the peripheral wall (25) such that each containment space (25S) has at least one hole. The holes (28) connect the containment spaces (25S) with the outside so as to evaporate the film-forming material (29) stored in each containment space toward the outside.
(FR)L'invention propose une source d'évaporation (20) qui améliore le rendement d'utilisation d'un matériau (29) de formation de film sans réduire sa stabilité. La source d'évaporation (20) comprend : une paroi périphérique (25) en forme de tube qui présente plusieurs espaces de confinement (25S) et plusieurs parois de séparation (27) qui divisent en plusieurs espaces de confinement la zone située à l'intérieur de la paroi périphérique (25). Plusieurs trous (28) sont formés dans la paroi périphérique (25) de telle sorte que chaque espace de confinement (25S) présente au moins un trou. Les trous (28) relient les espaces de confinement (25S) à l'extérieur de manière à évaporer vers l'extérieur le matériau (29) de formation de film conservé dans chaque espace de confinement.
(JA) メンテナンス性を損なうことなく、成膜材料(29)の利用効率を向上させた蒸発源(20)。蒸発源(20)は、複数の収容空間(25S)を有する管状の一つの周壁(25)と、周壁(25)の内部を該複数の収容空間に仕切る複数の隔壁部(27)と、を含む。周壁(25)には、収容空間(25S)ごとに少なくとも1つずつ配置される複数の孔(28)が形成されている。複数の孔(28)は、複数の収容空間(25S)の各々に収容された成膜材料(29)を各収容空間から外方へ向けて蒸発させるべく、複数の収容空間と外方とを連通する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)