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1. (WO2009125761) 被測定物の表面分析装置及び分析方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125761    国際出願番号:    PCT/JP2009/057121
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 07.04.2009
予備審査請求日:    18.12.2009    
IPC:
G01N 27/62 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01)
出願人: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP/JP]; 4-1-8, Hon-cho, Kawaguchi-shi, Saitama 3320012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
THE UNIVERSITY OF ELECTRO-COMMUNICATIONS [JP/JP]; 5-1, Choufugaoka 1-chome, Choufu-shi, Tokyo, 1828585 (JP) (米国を除く全ての指定国).
National University Corporation KOBE University [JP/JP]; 1-1, Rokkodai-cho, Nada-ku, Kobe-shi, Hyogo, 6578501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TONA, Masahide [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHTANI, Shunsuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAKURAI, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TONA, Masahide; (JP).
OHTANI, Shunsuke; (JP).
SAKURAI, Makoto; (JP)
代理人: HIRAYAMA, Kazuyuki; 6th Floor, Shinjukugyoen Bldg. 2-3-10, Shinjuku, Shinjuku-ku Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2008-101984 09.04.2008 JP
発明の名称: (EN) SURFACE ANALYZER OF OBJECT TO BE MEASURED AND ANALYZING METHOD
(FR) ANALYSEUR DE SURFACES D’OBJET À MESURER ET PROCÉDÉ D’ANALYSE
(JA) 被測定物の表面分析装置及び分析方法
要約: front page image
(EN)A surface analyzer (1) is provided with a sample stage (6) on which a sample (5) is placed, a multi-value ion generating source (3) for irradiating the sample (5) placed on the sample stage (6) with a multi-value ion beam (4) having charge number of 15 or more, a mass analyzing section (8) for detecting secondary ions (7) generated by irradiating the sample (5) with the ion beam (4), a secondary electron detecting section (10) for detecting secondary electrons (9) generated by irradiating the sample (5) with the multi-value ion beam (4), and a mass analyzing control section (12) for generating an analysis start signal upon receiving a secondary electron detection signal from the secondary electron detecting section (10) and transmitting the generated signal to the mass analyzing section. The surface analyzer (1) can analyze the surface of the sample (5) highly accurately in a short time by using the multi-value ion beam (4).
(FR)L’invention concerne un analyseur de surfaces (1) qui est équipé d’une platine porte-échantillon (6) sur laquelle est placé un échantillon (5), d’une source de génération d’ions multi-valeur (3) pour irradier l’échantillon (5) placé sur la platine porte-échantillon (6) avec un faisceau d’ions multi-valeur (4) ayant un nombre de charge de 15 ou plus, une unité d’analyse de masse (8) pour détecter les ions secondaires (7) générés en irradiant l’échantillon (5) avec le faisceau d’ions (4), une unité de détection d’électrons secondaires (10) pour détecter les électrons secondaires (9) générés en irradiant l’échantillon (5) avec le faisceau d’ions multi-valeur (4), et une unité de commande d’analyse de masse (12) pour générer un signal de début d’analyse à la réception d’un signal de détection d’électrons secondaires provenant de l’unité de détection d’électrons secondaires (10) et transmettre le signal généré à l’unité d’analyse de masse.  L’analyseur de surface (1) peut analyser la surface de l’échantillon (5) de façon très précise en un temps court en utilisant le faisceau d’ions multi-valeur (4).
(JA) 表面分析装置1は、試料5を搭載する試料台6と、試料台6に搭載した試料5に価数が15以上の多価イオンビーム4を照射する多価イオン発生源3と、試料5に多価イオンビーム4を照射することにより生じる二次イオン7を検出する質量分析部8と、試料5に多価イオンビーム4を照射することにより生じる二次電子9を検出する二次電子検出部10と、二次電子検出部10からの二次電子検出信号を受け分析開始信号を生成し質量分析部へ送信する質量分析制御部12を、備えて構成され、多価イオンビーム4を用いて、試料5表面の分析を高精度で短時間に行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)