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1. (WO2009125727) アニール装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125727    国際出願番号:    PCT/JP2009/056962
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 03.04.2009
IPC:
H01L 21/26 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KASAI, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUZUKI, Tomohiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KASAI, Shigeru; (JP).
SUZUKI, Tomohiro; (JP)
代理人: TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F, 1-7-20, Hirakawacho, Chiyoda-ku, Tokyo, 1020093 (JP)
優先権情報:
2008-103160 11.04.2008 JP
発明の名称: (EN) ANNEALING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RECUIT
(JA) アニール装置
要約: front page image
(EN)An annealing apparatus is provided with a chamber (2) wherein a wafer (W) is stored; heating sources (17a, 17b) having a plurality of LEDs (33) for irradiating the wafer (W) in the chamber (2) with light; a power supply section (60) for feeding the LEDs (33) of the heating sources (17a, 17b) with power; power feed control sections (42a, 42b) which control power feed from the power supply section (60) to a light emitting element; light transmitting members (18a, 18b) which transmit light emitted from the LEDs (33); and an air-releasing mechanism for releasing air from inside the chamber (2). The power feed control sections (42a, 42b) drive the LEDs (33) with direct current.
(FR)L'invention porte sur un appareil de recuit qui est pourvu d’une chambre (2) dans laquelle une tranche (W) est stockée ; de sources de chauffage (17a, 17b) ayant une pluralité de DEL (33) pour irradier la tranche (W) dans la chambre (2) avec de la lumière ; d’une section d'alimentation électrique (60) pour alimenter les DEL (33) des sources de chauffage (17a, 17b) en énergie électrique ; de sections de commande d'alimentation électrique (42a, 42b) qui commandent une alimentation électrique provenant de la section d'alimentation électrique (60) vers un élément d'émission de lumière ; d’éléments de transmission de lumière (18a, 18b) qui transmettent une lumière émise à partir des DEL (33), et d’un mécanisme de libération d'air pour libérer de l'air provenant de l'intérieur de la chambre (2). Les sections de commande d'alimentation électrique (42a, 42b) excitent les DEL (33) avec du courant continu.
(JA) ウエハWが収容されるチャンバー(2)と、チャンバー(2)内のウエハWに対して光を照射する複数のLED(33)を有する加熱源(17a,17b)と、加熱源(17a,17b)のLED(33)に給電する電源部(60)と、電源部(60)から発光素子への給電を制御する給電制御部(42a,42b)と、LED(33)からの光を透過する光透過部材(18a,18b)と、チャンバー(2)内を排気する排気機構とを具備し、給電制御部(42a,42b)は、LED(33)を直流駆動する。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)