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1. (WO2009125651) シート剥離装置及び剥離方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125651    国際出願番号:    PCT/JP2009/055013
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 16.03.2009
IPC:
B65H 41/00 (2006.01), B65H 37/04 (2006.01), C09J 5/00 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 23-23, Honcho, Itabashi-ku Tokyo, 1730001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KATO, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KATO, Hideaki; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Yoshio; 8th Floor, Izumi Building, 4-17, Tsurumaki 1-chome, Tama-shi Tokyo 2060034 (JP)
優先権情報:
2008-103401 11.04.2008 JP
発明の名称: (EN) SHEET-PEELING APPARATUS AND PEELING METHOD
(FR) APPAREIL DE DÉCOLLEMENT DE FEUILLE ET PROCÉDÉ DE DÉCOLLEMENT
(JA) シート剥離装置及び剥離方法
要約: front page image
(EN)A sheet-peeling apparatus (10) is provided with a pasting means (14) pressing and pasting a peeling tape (PT) to an adhesive sheet (S), a movement means (15) which relatively moves the peeling tape (PT) pasted to the adhesive sheet (S) and a holding means (11) holding a wafer (W) to peel the adhesive sheet (S), a detection means (17) which detects the position of the outer edge of the adhesive sheet (S) and outputs the signal, an input means (18) which inputs a correction value, and a control means (19) which determines the pressing position of the peeling tape (PT) to the adhesive sheet (S) on the basis of the output signal of the detection means (17) and the correction value and controls the movement means (15) to paste the adhesive sheet (S) at the pressing position.
(FR)L’invention concerne un appareil de décollement de feuille (10) doté d’un moyen de collage (14) pressant et collant un ruban de décollement (PT) sur une feuille adhésive (S), d’un moyen de déplacement (15) qui déplace relativement le ruban de décollement (PT) collé sur la feuille adhésive (S) et d’un moyen de support (11) supportant une tranche (W) pour décoller la feuille adhésive (S), d’un moyen de détection (17) qui détecte la position du bord externe de la feuille adhésive (S) et émet un signal, d’un moyen d'entrée (18) qui entre une valeur de correction, et d’un moyen de commande (19) qui détermine la position de pression du ruban de décollement (PT) sur la feuille adhésive (S) sur la base du signal de sortie du moyen de détection (17) et de la valeur de correction et commande le moyen de déplacement (15) afin de coller la feuille adhésive (S) sur la position de pression.
(JA) シート剥離装置(10)は、剥離用テープ(PT)を接着シート(S)に押圧して貼付する貼付手段(14)と、接着シート(S)に貼付された剥離用テープ(PT)とウエハ(W)を保持する保持手段(11)とを相対移動させて接着シート(S)を剥離する移動手段(15)と、接着シート(S)の外縁位置を検知し、その信号を出力する検知手段(17)と、補正値を入力する入力手段(18)と、検知手段(17)の出力信号と補正値とに基づいて接着シート(S)への剥離用テープ(PT)の押圧位置を決定し、当該押圧位置で接着シート(S)を貼付するように移動手段(15)を制御する制御手段(19)とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)