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1. (WO2009125511) 空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125511    国際出願番号:    PCT/JP2008/069999
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 04.11.2008
IPC:
G02B 26/08 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TANAKA, Hirohisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TANAKA, Hirohisa; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasacho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1010048 (JP)
優先権情報:
2008-103128 11.04.2008 JP
発明の名称: (EN) SPATIAL LIGHT MODULATING UNIT, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) UNITÉ DE MODULATION SPATIALE DE LA LUMIÈRE, SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, ALIGNEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) 空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)An illumination optical system for illuminating a surface to be irradiated with light from a light source. The illumination optical system comprises a distribution forming optical system for forming a predetermined light intensity distribution in an illumination pupil from a light flux which has passed through a spatial light modulator having two-dimensionally arranged and individually controlled optical elements. The problem that the formation of a desired pupil intensity distribution becomes difficult because of the arrival of specular reflected light from portions other than the optical elements of the spatial light modulator at the illumination pupil is avoided by the following construction. An entrance-side optical system for guiding light to the optical elements and an exit-side optical system for guiding the light which has passed through the optical elements are so constructed by a first deflection member and a second deflection member, respectively, that the specular reflected light travels outside a reflecting surface of the second deflection member.
(FR)L'invention porte sur un système optique d'éclairage destiné à éclairer une surface devant être irradiée par une lumière provenant d'une source lumineuse. Le système optique d'éclairage inclut un système optique formant une distribution, destiné à former une distribution prédéterminée de l'intensité lumineuse dans une pupille d'éclairage, à partir d'un flux lumineux qui a traversé un modulateur spatial de lumière présentant des éléments optiques disposés de façon bidimensionnelle et commandés individuellement. Le problème selon lequel la formation de la distribution souhaitée de l'intensité dans la pupille devient difficile, en raison de l'arrivée d'une lumière réfléchie par réflexion spéculaire provenant de zones autres que les éléments optiques du modulateur spatial de lumière au niveau de la pupille d'éclairage, est évité grâce à la construction suivante. Un système optique côté entrée pour guider la lumière vers les éléments optiques, et un système optique côté sortie pour guider la lumière qui a traversé les éléments optiques, sont constitués respectivement d'un premier élément déviateur et d'un second élément déviateur, de telle sorte que la lumière réfléchie par réflexion spéculaire se propage à l'extérieur d'une surface réfléchissante du second élément déviateur.
(JA)光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系であって、二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有する空間光変調器を介した光束に基づいて、照明瞳に所定の光強度分布を形成する分布形成光学系を具備する照明光学系において、前記空間光変調器の、前記複数の光学要素以外からの正反射光が前記照明瞳に達することにより、所望の瞳強度分布を形成することが困難になるという問題を、以下の構成により回避する。 すなわち、前記複数の光学要素へ光を導く入射側光学系と、前記複数の光学要素を経た光を導く射出側光学系とを、第1偏向部材及び第2偏向部材をそれぞれ用いて構成し、前記正反射光が前記第2偏向部材の反射面の外へ向かうようにする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)