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1. (WO2009125507) ナノワイヤの形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125507    国際出願番号:    PCT/JP2008/063726
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 24.07.2008
IPC:
B82B 3/00 (2006.01), C01G 9/02 (2006.01)
出願人: MA, Xiaodong [CN/JP]; (JP).
SOGABE, Masaru [JP/JP]; (JP)
発明者: MA, Xiaodong; (JP).
SOGABE, Masaru; (JP)
代理人: YOSHIDA, Kenji; 34-12, Kichijoji-honcho 1-chome, Musashino-shi, Tokyo 1800004 (JP)
優先権情報:
PCT/JP2008/057382 09.04.2008 JP
発明の名称: (EN) METHOD OF FORMING NANOWIRE
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE NANOFIL
(JA) ナノワイヤの形成方法
要約: front page image
(EN)A wire of object material having a width of 20 nm or less is formed by feeding the object material on a nitride semiconductor substrate in vacuum. Accordingly, there can be formed a nanowire of 20 nm or less width consisting of chromium (Cr), manganese (Mn), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), rhodium (Rh), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), indium (In), gallium (Ga), gadolinium (Gd), silicon (Si), germanium (Ge), gallium nitride (GaN), indium nitride (InN), iron (Fe)/gold (Au) alloy, etc.
(FR)Selon l'invention, un fil d'un matériau objet présentant une largeur de 20 nm ou moins est formé par délivrance du matériau objet sur un substrat semi-conducteur au nitrure sous vide. Par conséquent, il peut être formé un nanofil présentant une largeur de 20 nm ou moins, constitué par du chrome (Cr), du manganèse (Mn), du fer (Fe), du cobalt (Co), du nickel (Ni), du rhodium (Rh), du palladium (Pd), de l'or (Au), de l'argent (Ag), de l'indium (In), du gallium (Ga), du gadolinium (Gd), du silicium (Si), du germanium (Ge), du nitrure de gallium (GaN), du nitrure d'indium (InN), un alliage de fer (Fe)/or (Au), etc.
(JA) 真空中において、窒化半導体基板上に対象材料を供給することによって幅20nm以下の対象材料のワイヤを形成する。これにより、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、金(Au)、銀(Ag)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、ガドリニウム(Gd)、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウム(InN)、鉄(Fe)と金(Au)の合金等の20nm以下の線幅を有するナノワイヤを形成することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)