WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2009125457) シラン系ガス及びフッ素系ガス含有排ガスの処理方法及び該方法を用いた排ガス処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/125457    国際出願番号:    PCT/JP2008/003771
国際公開日: 15.10.2009 国際出願日: 15.12.2008
IPC:
B01D 53/46 (2006.01), B01D 53/68 (2006.01), B01D 53/70 (2006.01)
出願人: KANKEN TECHNO CO., LTD. [JP/JP]; 30-2, Kotari Ota, Nagaokakyo-shi, Kyoto, 6170833 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MATSUSHITA, Yoshinari [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUKADA, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUI, Takayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWAMURA, Tokizo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
BEPPU, Tatsuro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Yoshihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IMAMURA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MATSUSHITA, Yoshinari; (JP).
TSUKADA, Tsutomu; (JP).
MATSUI, Takayuki; (JP).
KAWAMURA, Tokizo; (JP).
BEPPU, Tatsuro; (JP).
INOUE, Yoshihiko; (JP).
IMAMURA, Hiroshi; (JP)
代理人: MORI, Yoshiaki; Room 911, Osaka-Ekimae Dai-4 Bldg., 11-4, Umeda 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka, 5300001 (JP)
優先権情報:
2008-103633 11.04.2008 JP
発明の名称: (EN) PROCESS FOR TREATMENT OF EXHAUST GAS CONTAINING BOTH SILANE GAS AND FLUORINE GAS AND EXHASUT GAS TREATMENT FACILITY FOR THE PROCESS
(FR) PROCÉDÉ POUR LE TRAITEMENT D'UN GAZ BRÛLÉ CONTENANT À LA FOIS DU SILANE GAZEUX ET DU FLUOR GAZEUX ET INSTALLATION DE TRAITEMENT DE GAZ BRÛLÉ POUR LE PROCÉDÉ
(JA) シラン系ガス及びフッ素系ガス含有排ガスの処理方法及び該方法を用いた排ガス処理装置
要約: front page image
(EN)Provided are a process for the treatment of exhaust gas by which by-products formed by thermal decomposition of an exhaust gas containing both a silane gas and a fluorine gas can be separately and efficiently recovered in high concentrations and a facility therefor. The process is characterized by comprising the exhaust gas thermal decomposition step of adding oxygen, moisture, or hydrogen at need to an exhaust gas (E) into which a siliane gas and a fluorine gas are incorporated simultaneously or successively and subjecting the resulting exhaust gas to thermal decomposition to form a heat-treated exhaust gas (T), the silica recovery step of cooling the heat-treated exhaust gas (T) to a temperature which is equal to or above the vaporization temperature of water and which is equal to or below the highest allowable temperature of a bag filter (32) to capture silica dust (which is formed from the silane gas as a by-product in the exhaust gas thermal decomposition step) with the bag filter (32), and then the fluorine recovery step of recovering hydrogen fluoride (which is formed from the fluorine gas as a by-product in the exhaust gas thermal decomposition step) from the heat-treated exhaust gas (T).
(FR)L'invention porte sur un procédé pour le traitement d'un gaz brûlé par lequel des sous-produits formés par décomposition thermique d'un gaz brûlé contenant à la fois un silane gazeux et un fluor gazeux peuvent être récupérés séparément et de manière efficace à des concentrations élevées ; et sur une installation pour celui-ci. Le procédé est caractérisé en ce qu'il comprend l'étape de décomposition thermique du gaz brûlé consistant à ajouter de l'oxygène, de l'humidité ou de l'hydrogène, selon les besoins, à un gaz brûlé (E) dans lequel un silane gazeux et un fluor gazeux sont incorporés simultanément ou successivement, et à soumettre le gaz brûlé résultant à une décomposition thermique pour former un gaz brûlé traité thermiquement (T), l'étape de récupération de silice consistant à refroidir le gaz brûlé traité thermiquement (T) à une température qui est supérieure ou égale à la température de vaporisation de l'eau et qui est inférieure ou égale à la température admissible la plus élevée d'un filtre à manches (32) pour capturer la poussière de silice (qui est formée à partir du silane gazeux en tant que sous-produit dans l'étape de décomposition thermique du gaz brûlé) avec le filtre à manches (32), et ensuite l'étape de récupération du fluor consistant à récupérer du fluorure d'hydrogène (qui est formé à partir du fluor gazeux en tant que sous-produit dans l'étape de décomposition thermique du gaz brûlé) à partir du gaz brûlé traité thermiquement (T).
(JA) シラン系ガス及びフッ素系ガス含有排ガスの加熱分解によって生じた分解副生物を効率よく個別に且つ高濃度で回収することができる排ガス処理方法とその装置を提供する。  シラン系ガス及びフッ素系ガスが同時に又は逐次混入する排ガスEに、必要に応じて酸素や水分或いは水素を添加し、これを加熱分解して熱処理済排ガスTとする排ガス加熱分解工程と、熱処理済排ガスTを水の気化温度以上で且つバグフィルター32の耐熱温度以下の温度に冷却し、排ガス加熱分解工程で副生したシラン系ガス由来のシリカの粉塵をバグフィルター32で捕捉して回収するシリカ回収工程と、シリカ回収工程の後、排ガス加熱分解工程で副生したフッ素系ガス由来のフッ化水素を熱処理済排ガスT中から除去して回収するフッ素回収工程とで構成されていることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)