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1. (WO2009122913) 熱処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/122913    国際出願番号:    PCT/JP2009/055325
国際公開日: 08.10.2009 国際出願日: 18.03.2009
IPC:
H01L 21/26 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AOYAMA, Shintaro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIMOMURA, Kouji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOBAYASHI, Sensho [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOYAMA, Shintaro; (JP).
SHIMOMURA, Kouji; (JP).
KOBAYASHI, Sensho; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2008-089069 31.03.2008 JP
発明の名称: (EN) HEAT TREATMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT THERMIQUE
(JA) 熱処理装置
要約: front page image
(EN)Provided is a heat treatment apparatus for performing heat treatment to a subject (W) to be treated. The apparatus is provided with a treatment container (6) wherein the subject to be treated can be stored; a supporting means (38) for supporting the subject; a first irradiation window (26A) arranged on the ceiling section of the treatment container; a first heating means (28A) which is arranged outside the first irradiation window and generates heat rays for heating; a gas supply means (12) which supplies a prescribed gas into the treatment container; an air releasing means (20) for releasing atmosphere in the treatment container to the outside; and a film adhesion preventing member (80), which is arranged between the supporting means and the first irradiation window, and is provided with a light blocking section (86) for partially or entirely blocking the heat rays, on a part of the member. Thus, while eliminating unclearness of the irradiation window, in-plane thickness uniformity of a thin film after heat treatment can be highly maintained.
(FR)Cette invention se rapporte à un appareil de traitement thermique destiné à exécuter un traitement thermique sur un sujet (W) à traiter. L'appareil comporte un contenant de traitement (6) où le sujet à traiter peut être stocké ; des moyens de support (38) destinés à supporter le sujet ; une première fenêtre d'irradiation (26A) disposés sur la section plafond du contenant de traitement ; des premiers moyens de chauffage (28A) qui sont disposés à l'extérieur de la première fenêtre d'irradiation et génèrent des rayons thermiques pour le chauffage ; des moyens d'alimentation en gaz (12) qui fournissent un gaz prescrit dans le contenant de traitement ; des moyens d'évacuation d’air (20) destinés à évacuer l'atmosphère présente dans le contenant vers l'extérieur ; et un élément qui empêche une adhérence de film (80), qui est disposé entre les moyens de support et la première fenêtre d'irradiation, et dont une partie présente une section blocage de la lumière (86) destinée à bloquer en partie ou en totalité les rayons thermiques. Ainsi, tout en éliminant le manque de transparence de la fenêtre d'irradiation, il est possible de maintenir fortement une uniformité d'épaisseur dans le plan d'un film mince après un traitement thermique.
(JA) 被処理体Wに対して熱処理を施す熱処理装置において、被処理体が収容可能になされた処理容器6と、被処理体を支持する支持手段38と、処理容器の天井部に設けられた第1の照射窓26Aと、第1の照射窓の外側に設けられて加熱用の熱線を発する第1の加熱手段28Aと、処理容器内へ所定のガスを供給するガス供給手段12と、処理容器内の雰囲気を排気する排気手段20と、支持手段と前記第1の照射窓との間に設けられて、その一部に熱線の一部、或いは全部を遮断するための遮光部86が形成された膜防着部材80とを備える。これにより、照射窓に曇りが発生することを防止しつつ熱処理後における薄膜の膜厚の面内均一性を高く維持することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)