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1. (WO2009122762) 三方弁
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/122762    国際出願番号:    PCT/JP2009/050660
国際公開日: 08.10.2009 国際出願日: 19.01.2009
IPC:
F16K 11/044 (2006.01), F16K 11/18 (2006.01), F16K 11/22 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MORIYA, Shuji; (米国のみ)
発明者: MORIYA, Shuji;
代理人: KOHNO, Takao; KOHNO PATENT OFFICE, 4-3, Tsuriganecho 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka, 5400035 (JP)
優先権情報:
2008-092690 31.03.2008 JP
発明の名称: (EN) THREE-WAY VALVE
(FR) ROBINET À TROIS VOIES
(JA) 三方弁
要約: front page image
(EN)A three-way valve having a simple structure, small-sized, and applied to a fluid supply circuit, such as a gas supply circuit for a semiconductor manufacturing device, requiring high reliability. The three-way valve (2) has a first valve shaft (31) moving axially, a first valve element (3) provided to the head of the first valve shaft (31) and lifting off and sitting on a first valve seat (30) to open and close a first flow path, a second valve shaft (41) moving axially and coaxially with the first valve shaft (31), a second valve element (4) provided to the head of a second valve shaft (41) and lifting off and sitting on a second valve seat (40), provided to be opposed to the first valve seat (30), to open and close a second flow path (40), an opening and closing actuator (5) provided coaxially with the first and second valve shafts (31, 41), a diaphragm (6) for urging the first valve shaft (31) by effect of the inner pressure in the upstream of the first flow path, and an urging spring (52) for urging the second valve shaft (41) in the same direction as the first valve shaft (31).
(FR)Robinet à trois voies à structure simple, de petite taille et utilisé dans un circuit d'alimentation en fluide, tel un circuit d'alimentation en gaz d'un dispositif de fabrication de semi-conducteurs, qui exige une haute fiabilité. Ce robinet à trois voies (2) possède une première tige de robinet (31) qui se déplace dans le sens axial, un premier élément de type robinet (3) monté sur la tête de la première tige de robinet (31) et qui se soulève et retombe sur un premier siège de robinet (30) pour ouvrir et refermer un premier trajet d'écoulement, une seconde tige de robinet (41) qui se déplace dans le sens axial et de façon coaxiale avec la première tige de robinet (31), un second élément de type robinet (4) monté sur la tête d'une seconde tige de robinet (41) et qui se soulève et retombe sur un second siège de robinet (40), monté à l'opposé du premier siège de robinet (30), pour ouvrir et fermer un second trajet d'écoulement (40), un actionneur d'ouverture et de fermeture (5) monté de façon coaxiale avec la première et la seconde tiges de robinets (31, 41), une membrane (6) destinée à solliciter la première tige de robinet (31) sous l'action d'une pression interne en amont du premier trajet d'écoulement, et un ressort de sollicitation (52) destiné à solliciter la seconde tige de robinet (41) dans la même direction que la première tige de robinet (31).
(JA) 簡素な構成を有し、小型化が可能であり、半導体製造装置のガス供給回路等、高い信頼性が要求される流体供給回路への適用が可能な三方弁を提供する。  三方弁2は、軸長方向に移動する第1弁軸31と、第1弁軸31の先端部に設けてあり、第1弁座30に対して退座又は着座して第1流路を開閉する第1弁体3とを備える。また三方弁2は、第1弁軸31と同軸上で軸長方向に移動する第2弁軸41と、第2弁軸41の先端部に設けてあり、第1弁座30に対向配置された第2弁座40に対して退座又は着座して第2流路を開閉する第2弁体4とを備える。更に三方弁2は、第1弁軸31及び第2弁軸41と同軸上に配した開閉アクチュエータ5と、第1弁軸31を第1流路の上流側の内圧の作用により付勢するダイヤフラム6と、第2弁軸41を第1弁軸31と同方向に付勢する付勢ばね52とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)