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1. (WO2009122472) 研磨装置および研磨方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/122472    国際出願番号:    PCT/JP2008/003773
国際公開日: 08.10.2009 国際出願日: 15.12.2008
IPC:
B24B 7/26 (2006.01), B24B 1/04 (2006.01), B24B 7/06 (2006.01)
出願人: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka, 5458522 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MASUDA, Yukinori; (米国のみ).
YATSUI, Toshinobu; (米国のみ)
発明者: MASUDA, Yukinori; .
YATSUI, Toshinobu;
代理人: MAEDA, Hiroshi; Osaka-Marubeni Bldg., 5-7, Hommachi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka, 5410053 (JP)
優先権情報:
2008-090464 31.03.2008 JP
発明の名称: (EN) POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
(FR) APPAREIL DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
(JA) 研磨装置および研磨方法
要約: front page image
(EN)A board material being transferred by a transfer mechanism is sandwiched by two polishing heads, and the board material is transferred by the transfer mechanism by vibrating the two polishing heads by a vibrating mechanism in a direction intersecting with a transfer direction (T) of the board material.
(FR)L'invention concerne un matériau pour plaquette transféré par un mécanisme de transfert et pris en sandwich par deux têtes de polissage, le matériau pour plaquette étant transféré par le mécanisme de transfert en faisant vibrer les deux têtes de polissage par un mécanisme de vibration dans une direction croisant une direction de transfert (T) du matériau pour plaquette.
(JA) 移送機構による移送中の板材を2つの研磨ヘッドで挟み込み、それらの2つの研磨ヘッドを板材の移送方向(T)に交差する方向において加振機構により振動させつつ上記板材を移送機構により移送する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)