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1. (WO2009119580) 処理装置および処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/119580    国際出願番号:    PCT/JP2009/055818
国際公開日: 01.10.2009 国際出願日: 24.03.2009
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
出願人: Orbotech LT Solar, LLC [US/US]; 17 Great Oaks Boulevard, San Jose, California 95119 (US) (米国を除く全ての指定国).
TOSHIMA, Masato [JP/US]; (US) (米国のみ).
CAN, Linh [US/US]; (US) (米国のみ)
発明者: TOSHIMA, Masato; (US).
CAN, Linh; (US)
代理人: FURUYA, Satoshi; 2-17-8-6F, Nihonbashi-Hamacho, Chuo-ku, Tokyo 1030007 (JP)
優先権情報:
2008-078764 25.03.2008 JP
発明の名称: (EN) PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT
(JA) 処理装置および処理方法
要約: front page image
(EN)Provided are a processing apparatus and a processing method wherein work processing efficiency is improved by improving efficiency of operations of carrying in and carrying out a work to and from a processing chamber. The processing apparatus is provided with a processing chamber (10) having a first carry in/out port and a second carry in/out port. The processing apparatus is also provided with a first transfer mechanism which performs operations of carrying in/out a work (30) through the first carry in/out port; a second transfer mechanism which performs operations of carrying in/out the work (30) through the second carry in/out port; a replacing means for transferring a work (30a), which is carried in by the first transfer mechanism and processed, to the second transfer mechanism, and transferring a work (32a), which is carried in by the second transfer mechanism and processed, to the first transfer mechanism; and a control section (22) which drives the first transfer mechanism and the second transfer mechanism, alternately supplies unprocessed work from the first carry in/out port and the second carry in/out port to the processing chamber, and processes the work.
(FR)L'invention porte sur un appareil de traitement et sur un procédé de traitement, dans lesquels un rendement de traitement de pièce à travailler est amélioré par l'amélioration du rendement d'opérations d'entrée et de sortie d'une pièce à travailler dans et hors d'une chambre de traitement. L'appareil de traitement comporte une chambre de traitement (10) comportant un premier orifice d'entrée/sortie et un deuxième orifice d'entrée/sortie. L'appareil de traitement comporte également un premier mécanisme de transfert qui effectue des opérations d'entrée/sortie d'une pièce à travailler (30) à travers le premier orifice d'entrée/sortie; un deuxième mécanisme de transfert qui effectue des opérations d'entrée/sortie de la pièce à travailler (30) à travers le deuxième orifice d'entrée/sortie; des moyens de remplacement pour transférer une pièce à travailler (30a), qui est entrée par le premier mécanisme de transfert et traitée, au deuxième mécanisme de transfert, et pour transférer une pièce à travailler (32a), qui est entrée par le deuxième mécanisme de transfert et traitée, au premier mécanisme de transfert; et une section de commande (22) qui actionne le premier mécanisme de transfert et le deuxième mécanisme de transfert, qui délivre en alternance une pièce à travailler non traitée du premier orifice d'entrée/sortie et du deuxième orifice d'entrée/sortie à la chambre de traitement, et qui traite la pièce à travailler.
(JA) 処理チェンバーにワークを搬入・搬出する操作を効率化し、ワークの処理効率を向上させる処理装置および処理方法を提供する。  第1の給排口と第2の給排口とが設けられた処理チェンバー10を備える処理装置であって、前記第1の給排口を介してワーク30を給排する操作を行う第1の搬送機構と、前記第2の給排口を介してワーク30を給排する操作を行う第2の搬送機構と、前記第1の搬送機構により搬入されて処理されたワーク30aを前記第2の搬送機構に受け渡し、前記第2の搬送機構により搬入されて処理されたワーク32aを第1の搬送機構に受け渡す交換手段と、前記第1の搬送機構と第2の搬送機構を駆動し、前記第1の給排口と前記第2の給排口から交互に未処理のワークを前記処理チェンバーに供給して処理する制御部22とを備えることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)