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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009119504) 荷電粒子線用静電レンズ

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/119504    国際出願番号:    PCT/JP2009/055665
国際公開日: 01.10.2009 国際出願日: 23.03.2009
H01J 37/12 (2006.01)
出願人: HORIBA, Ltd. [JP/JP]; 2, Miyanohigashi-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-city Kyoto, 6018510 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ONOGUCHI, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OBORI, Kenichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUMOTO, Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AWATA, Shogo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHASHI, Satoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ONOGUCHI, Akira; (JP).
OBORI, Kenichi; (JP).
MATSUMOTO, Koichi; (JP).
AWATA, Shogo; (JP).
OHASHI, Satoshi; (JP)
代理人: NISHIMURA, Ryuhei; Karasumanijyo Bldg. 3F, 267, Makieya-cho, Nijyo-agaru, Karasuma-dori, Nakagyo-ku, Kyoto-city Kyoto, 6040857 (JP)
2008-082084 26.03.2008 JP
(JA) 荷電粒子線用静電レンズ
要約: front page image
(EN)Provided is an electrostatic lens for charged particle radiation with a lens performance relatively comparable to that of a magnetic type lens. A plurality of electrodes (V1, V4) arranged on the incident side of charged particles form a first electric field area (AR1), wherein orbit radii of the charged particles are reduced without exceeding, on the way, the initial orbit radii that are orbit radii at the incident time, and a second electric field area (AR2), wherein force in the direction advancing in parallel with a central axis is applied to the charged particles that have passed through the first electric field area (AR1). A plurality of electrodes (V2, V3) arranged on the projection side form a third electric field area (AR3), wherein the orbit radii of the charged particles do not exceed the initial orbit radii on the way and are curved to intersect with a central axis (m) at angles larger than orbit angles defined with respect to the central axis (m) of when the charged particles are projected from the second electric field area (AR2).
(FR)L'invention porte sur une lentille électrostatique pour rayonnement de particules chargées dont les performances de lentille sont relativement comparables à celles d'une lentille de type magnétique. Une pluralité d'électrodes (V1, V4) agencées sur le côté d'incidence de particules chargées forment une première zone de champ électrique (AR1), dans laquelle des rayons orbitaux des particules chargées sont réduits sans dépasser, sur le trajet, les rayons orbitaux initiaux qui sont des rayons orbitaux à l'instant d'incidence, et une deuxième zone de champ électrique (AR2), dans laquelle une force dans la direction avançant parallèlement à un axe central est exercée sur les particules chargées qui sont passées à travers la première zone de champ électrique (AR1). Une pluralité d'électrodes (V2, V3) agencées sur le côté de projection forment une troisième zone de champ électrique (AR3), dans laquelle les rayons orbitaux des particules chargées ne dépassent pas les rayons orbitaux initiaux sur le trajet et sont incurvés pour intersecter un axe central (m) à des angles supérieurs aux angles orbitaux définis par rapport à l'axe central (m) lorsque les particules chargées sont projetées à partir de la deuxième zone de champ électrique (AR2).
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)