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1. (WO2009119504) 荷電粒子線用静電レンズ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/119504    国際出願番号:    PCT/JP2009/055665
国際公開日: 01.10.2009 国際出願日: 23.03.2009
IPC:
H01J 37/12 (2006.01)
出願人: HORIBA, Ltd. [JP/JP]; 2, Miyanohigashi-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-city Kyoto, 6018510 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ONOGUCHI, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OBORI, Kenichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUMOTO, Koichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AWATA, Shogo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHASHI, Satoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ONOGUCHI, Akira; (JP).
OBORI, Kenichi; (JP).
MATSUMOTO, Koichi; (JP).
AWATA, Shogo; (JP).
OHASHI, Satoshi; (JP)
代理人: NISHIMURA, Ryuhei; Karasumanijyo Bldg. 3F, 267, Makieya-cho, Nijyo-agaru, Karasuma-dori, Nakagyo-ku, Kyoto-city Kyoto, 6040857 (JP)
優先権情報:
2008-082084 26.03.2008 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC LENS FOR CHARGED PARTICLE RADIATION
(FR) LENTILLE ÉLECTROSTATIQUE POUR RAYONNEMENT DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線用静電レンズ
要約: front page image
(EN)Provided is an electrostatic lens for charged particle radiation with a lens performance relatively comparable to that of a magnetic type lens. A plurality of electrodes (V1, V4) arranged on the incident side of charged particles form a first electric field area (AR1), wherein orbit radii of the charged particles are reduced without exceeding, on the way, the initial orbit radii that are orbit radii at the incident time, and a second electric field area (AR2), wherein force in the direction advancing in parallel with a central axis is applied to the charged particles that have passed through the first electric field area (AR1). A plurality of electrodes (V2, V3) arranged on the projection side form a third electric field area (AR3), wherein the orbit radii of the charged particles do not exceed the initial orbit radii on the way and are curved to intersect with a central axis (m) at angles larger than orbit angles defined with respect to the central axis (m) of when the charged particles are projected from the second electric field area (AR2).
(FR)L'invention porte sur une lentille électrostatique pour rayonnement de particules chargées dont les performances de lentille sont relativement comparables à celles d'une lentille de type magnétique. Une pluralité d'électrodes (V1, V4) agencées sur le côté d'incidence de particules chargées forment une première zone de champ électrique (AR1), dans laquelle des rayons orbitaux des particules chargées sont réduits sans dépasser, sur le trajet, les rayons orbitaux initiaux qui sont des rayons orbitaux à l'instant d'incidence, et une deuxième zone de champ électrique (AR2), dans laquelle une force dans la direction avançant parallèlement à un axe central est exercée sur les particules chargées qui sont passées à travers la première zone de champ électrique (AR1). Une pluralité d'électrodes (V2, V3) agencées sur le côté de projection forment une troisième zone de champ électrique (AR3), dans laquelle les rayons orbitaux des particules chargées ne dépassent pas les rayons orbitaux initiaux sur le trajet et sont incurvés pour intersecter un axe central (m) à des angles supérieurs aux angles orbitaux définis par rapport à l'axe central (m) lorsque les particules chargées sont projetées à partir de la deuxième zone de champ électrique (AR2).
(JA)磁界型レンズと比べて比較的遜色のないレンズ性能を有する荷電粒子線用静電レンズを提供するために、荷電粒子の入射側に設けた複数の電極V1、V4によって、荷電粒子の軌道半径を入射時の軌道半径である初期軌道半径を途中で越えることなく縮小させる第1電界領域AR1と、この第1電界領域AR1を通過した荷電粒子に対して、前記中心軸と平行に進む向きに力を与える第2電界領域AR2と、を形成するとともに、出射側に設けた複数の電極V2、V3によって、荷電粒子の軌道半径が前記初期軌道半径を途中で越えることなく、かつ、荷電粒子の軌道を曲げて、前記第2電界領域AR2から該荷電粒子が出たときの中心軸mに対する軌道角度よりも大きい角度で中心軸mと交わらせる第3電界領域AR3を形成するようにした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)