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1. (WO2009119285) シャワープレートとこれを用いたプラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/119285    国際出願番号:    PCT/JP2009/054336
国際公開日: 01.10.2009 国際出願日: 06.03.2009
IPC:
H01L 21/31 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISHIMOTO, Shinya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NISHIMOTO, Shinya; (JP)
代理人: KIMURA, Mitsuru; 2nd Floor, Kyohan Building, 7, Kandanishiki-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054 (JP)
優先権情報:
2008-076429 24.03.2008 JP
発明の名称: (EN) SHOWER PLATE AND PLASMA PROCESSING DEVICE USING THE SAME
(FR) PLAQUE D'ASPERSION ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA QUI L'UTILISE
(JA) シャワープレートとこれを用いたプラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)A shower plate (300) comprises a first flat plate (301), a second flat plate (302) and a third flat plate (303). Flow passages (303a) through which a heat medium flows are formed in the surface of the third flat plate (303) that faces the second flat plate (302). A lattice in which grids cross each other at approximately 90º is formed in the center area of the third flat plate (303), and the flow passages (303a) are bent at approximately 90º that is equal to the angle at which the grids cross each other. By bending the flow passages (303a) in such a manner, a large number of flow passages (303a) can be provided in particularly the center area heated to a high temperature, thereby satisfactorily cooling the shower plate.
(FR)Une plaque d'aspersion (300) comprend une première plaque plate (301), une deuxième plaque plate (302) et une troisième plaque plate (303). Des passages de flux (303a), à travers lesquels circule un milieu caloporteur, sont formés dans la surface de la troisième plaque plate (303) qui fait face à la deuxième plaque plate (302). Un treillis dans lequel des grillages se croisent les uns les autres selon un angle d’environ 90 º, est formé dans la zone centrale de la troisième plaque plate (303), et les passages de flux (303a) sont pliés selon un angle d’environ 90 º, qui est égal à l'angle selon lequel les grillages se croisent. En pliant les passages de flux (303a) de cette façon, il est possible de disposer d'un grand nombre de passages de flux (303a) notamment dans la zone centrale chauffée à une température élevée, ce qui permet de refroidir de façon satisfaisante la plaque d'aspersion.
(JA) シャワープレート(300)は第1の平板(301)と、第2の平板(302)と、第3の平板(303)と、を備える。第3の平板(303)の第2の平板(302)と対向する面には、熱媒体が流れる流路(303a)が形成されている。第3の平板(303)の中心領域には略90度に交差する格子が形成されており、この格子が交差する角度と同じ略90度に流路(303a)が屈曲されている。このように流路(303a)を屈曲させることにより、特に高温となる中心領域に流路(303a)を多く設置することができ、シャワープレートを良好に冷却することが可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)