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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009119052) カーボンナノウォール及びその製造方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/119052    国際出願番号:    PCT/JP2009/001255
国際公開日: 01.10.2009 国際出願日: 20.03.2009
C01B 31/02 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01), H01L 29/06 (2006.01)
出願人: HORI, Masaru [JP/JP]; (JP).
NU Eco Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; 1237-87, Aza Umazutsumi, Oaza Kurozasa, Miyoshi-cho, Nishikamo-gun, Aichi, 4700201 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKEUCHI, Wakana [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HORI, Masaru; (JP).
TAKEUCHI, Wakana; (JP).
KANO, Hiroyuki; (JP)
代理人: FUJITANI, Osamu; Marunouchi KS Bldg. 16F, 18-25, Marunouchi 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi, 4600002 (JP)
2008-081314 26.03.2008 JP
(JA) カーボンナノウォール及びその製造方法
要約: front page image
(EN)A carbon nanowall which bridges adjoining protrusions of a rugged substrate. By using an apparatus for generating an electron-beam-excited plasma, a chemical species having extremely high energy can be produced from a carbon source. By regulating the spacing between protrusions to 200 nm and forming a film of titanium or another metal on the surface, a carbon nanowall bridging adjoining protrusions was able to be formed (2.B). The spacing between protrusions is 250 nm or shorter in a substrate-plane direction. A substrate having an insulating layer inside and having recesses and protrusions on a surface thereof is disposed in an electron-beam-excited plasma formed by irradiation with electron beams. A gaseous mixture of hydrogen and the gas of a chemical species comprising carbon is introduced thereinto to grow carbon nanowalls selectively on the protrusions and, simultaneously therewith, form carbon nanowalls so as to bridge adjoining protrusions.
(FR)L'invention porte sur une nanoparoi de carbone qui forme un pontage entre des protrusions adjacentes d'un substrat présentant un relief. A l'aide d'un appareil pour générer un plasma excité par un faisceau d'électrons, une espèce chimique présentant une énergie extrêmement élevée peut être produite à partir d'une source de carbone. Par ajustement de l'écartement entre les protrusions à 200 nm et formation d'un film de titane ou d'un autre métal sur la surface, on a réussi à former une nanoparoi de carbone formant un pontage entre des protrusions adjacentes (2.B). L'écartement entre les protrusions est inférieur ou égal à 250 nm dans une direction dans le plan du substrat. Un substrat, possédant une couche isolante à son intérieur et présentant des creux et des protrusions à sa surface, est disposé dans un plasma excité par un faisceau d'électrons formé par irradiation avec des faisceaux d'électrons. Un mélange gazeux d'hydrogène et du gaz d'une espèce chimique incluant du carbone est introduit dans celui-ci pour faire croître des nanoparois de carbone sélectivement sur les protrusions et, simultanément, former des nanoparois de carbone de façon à former un pontage entre des protrusions adjacentes.
(JA)【課題】凹凸基板の隣り合う凸部と凸部を橋架けするカーボンナノウォール。 【解決手段】電子線励起プラズマ発生装置を用いることで、炭素源から極めてエネルギーの高い化学種を生成させることができる。また、凸部と凸部の間隔を200nmとし、表面にチタンその他の金属膜を形成することで、隣り合う凸部と凸部を橋架けするカーボンナノウォールを形成できた(2.B)。凸部と凸部の間隙が、基板面方向に250nm以下である。電子線を照射することによって形成される電子線励起プラズマ中に、内部に絶縁層を有し、表面に凹凸を有する基板を配置し、少なくとも炭素を含む化学種のガスと水素との混合ガスを導入して、カーボンナノウォールを、凸部に選択成長させると共に、隣り合う凸部に橋架け状に形成する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)