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1. (WO2009116588) 表面処理方法、シャワーヘッド部、処理容器及びこれらを用いた処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/116588    国際出願番号:    PCT/JP2009/055331
国際公開日: 24.09.2009 国際出願日: 18.03.2009
IPC:
B24C 1/00 (2006.01), B24C 11/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAKEGAWA, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NARUSHIMA, Kensaku [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAKEGAWA, Takashi; (JP).
NARUSHIMA, Kensaku; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
優先権情報:
2008-071718 19.03.2008 JP
発明の名称: (EN) SURFACE TREATMENT METHOD, SHOWERHEAD, TREATMENT CONTAINER, AND TREATMENT APPARATUS USING SAME
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE, TÊTE DE DOUCHE, CONTENANT DE TRAITEMENT ET APPAREIL DE TRAITEMENT LES UTILISANT
(JA) 表面処理方法、シャワーヘッド部、処理容器及びこれらを用いた処理装置
要約: front page image
(EN)The method of the present invention comprises a first blasting step wherein the surface of a metallic base material for a shower head and treatment container, etc., is blast-treated using a blasting material made from a non-sublimating material (e.g., alumina), and a second blasting step wherein the surface of the aforementioned metallic base material blast-treated in the aforementioned first step is blast-treated using a blasting material made from a sublimating material (e.g., dry ice). The surface of the metallic base material is suitably roughened by means of the first blasting step so that an adhered thin film produced by film formation processing will not be susceptible to peeling, thus preventing the production of particles derived from the adhered thin film, and any residue of non-sublimating blasting material adhered to the surface of the metallic base material is almost certainly removed by the second blasting step, preventing the production of particles derived from non-sublimating blasting material residue falling from the metallic base material.
(FR)La présente invention porte sur un procédé qui comporte une première étape de projection de particules dans laquelle la surface d'un matériau de base métallique pour une tête de douche et un contenant de traitement, etc., est traitée par projection de particules en utilisant un matériau de projection de particules fait d'un matériau ne se sublimant pas (par exemple de l'alumine), et une seconde étape de projection de particules dans laquelle la surface du matériau de base métallique susmentionné, traitée par projection métallique à la première étape susmentionnée, est traitée par projection de particules en utilisant un matériau de projection de particules fait d'un matériau se sublimant (par exemple de la glace carbonique). La surface du matériau de base métallique est rendue rugueuse de façon appropriée au moyen de la première étape de projection de particules de telle sorte qu'un film mince adhéré, produit par un traitement de formation de film, ne sera pas sensible au décollage, empêchant ainsi la production de particules issues du film mince adhéré, et tout résidu du matériau de projection de particules ne se sublimant pas adhéré à la surface du matériau de base métallique est presque certainement éliminé par la seconde étape de projection de particules, empêchant la production de particules issues d'un résidu de matériau de projection de particules ne se sublimant pas tombant du matériau de base métallique.
(JA) 本発明方法は、シャワーヘッドおよび処理容器等の金属母材の表面に、非昇華性材料よりなるブラスト材(例えばアルミナ)を用いてブラスト処理を行う第1のブラスト工程と、前記第1のブラスト工程が行われた前記金属母材の表面に、昇華性材料よりなるブラスト材(例えばドライアイス)を用いてブラスト処理を行う第2のブラスト工程と、を備える。第1のブラスト工程により金属母材の表面を適度に粗面化することにより成膜処理中に生じた付着膜の剥離を生じ難くして、付着膜に由来するパーティクルの発生を防止するとともに、第2のブラスト工程により金属母材の表面に付着している非昇華性ブラスト材の残渣をほぼ確実に除去し、金属母材から脱落する非昇華性ブラスト材の残渣に由来するパーティクルの発生を防止する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)