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1. (WO2009116400) アニール装置および過熱防止システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/116400    国際出願番号:    PCT/JP2009/054159
国際公開日: 24.09.2009 国際出願日: 05.03.2009
IPC:
H01L 21/26 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KASAI, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUZUKI, Tomohiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KASAI, Shigeru; (JP).
SUZUKI, Tomohiro; (JP)
代理人: TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F, 1-7-20, Hirakawacho Chiyoda-ku, Tokyo, 1020093 (JP)
優先権情報:
2008-071786 19.03.2008 JP
発明の名称: (EN) ANNEALING APPARATUS AND OVERHEAT PREVENTION SYSTEM
(FR) APPAREIL DE RECUIT ET SYSTÈME DE PRÉVENTION DE SURCHAUFFE
(JA) アニール装置および過熱防止システム
要約: front page image
(EN)Annealing apparatus (100) is provided with a chamber (2) for housing a wafer (W), heating sources (17a, 17b) which have a plurality of LEDs (33) irradiating the wafer (W) within the chamber (2) with light, a power source part (60) which feeds power to the LEDs (33) of the heating sources (17a, 17b), light transmission members (18a, 18b) which transmit light from the LEDs (33), an exhaustion mechanism which exhausts the inside of the chamber (2), a temperature calculation part (62) which calculates the temperature of the LEDs (33) on the basis of current-voltage properties in pn-junction of the LEDs (33) and those in the resistance of the LEDs, and an interlock part (63) which stops feeding of power by the power source part (60) when the temperature calculated by the temperature calculation part (62) exceeds a predetermined temperature.
(FR)L'invention porte sur un appareil de recuit (100) qui comprend une chambre (2) pour recevoir une tranche (W), des sources de chauffage (17a, 17b) qui comprennent une pluralité de DEL (33) exposant la tranche (W) dans la chambre (2) à de la lumière, une partie source d'alimentation (60) qui alimente électriquement les DEL (33) des sources de chauffage (17a, 17b), des éléments de transmission de lumière (18a, 18b) qui transmettent la lumière provenant des DEL (33), un mécanisme d'aspiration qui aspire l'intérieur de la chambre (2), une partie de calcul de température (62) qui calcule la température des DEL (33) sur la base de propriétés courant-tension dans une jonction pn des DEL (33) et de celles dans la résistance des DEL, et une partie de verrouillage (63) qui arrête l'alimentation électrique par la partie source d'alimentation (60) quand la température calculée par la partie de calcul de température (62) dépasse une température prédéterminée.
(JA) アニール装置(100)は、ウエハ(W)が収容されるチャンバー(2)と、チャンバー(2)内のウエハ(W)に対して光を照射する複数のLED(33)を有する加熱源(17a,17b)と、加熱源(17a,17b)のLED(33)に給電する電源部(60)と、LED(33)からの光を透過する光透過部材(18a,18b)と、チャンバー(2)内を排気する排気機構と、LED(33)のpn接合における電流-電圧特性またはLEDの抵抗における電流-電圧特性に基づいてLED(33)の温度を算出する温度算出部(62)と、温度算出部(62)において算出された温度が所定の温度を超えた場合に電源部(60)の給電を停止するインターロック部(63)とを具備する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)