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World Intellectual Property Organization
1. (WO2009113486) プローブカード

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/113486    国際出願番号:    PCT/JP2009/054408
国際公開日: 17.09.2009 国際出願日: 09.03.2009
G01R 1/073 (2006.01), H01R 11/01 (2006.01)
出願人: FUJIFILM Corporation [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo, 1060031 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOMITA, Tadabumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HOTTA, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UESUGI, Akio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HATANAKA, Yusuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TOMITA, Tadabumi; (JP).
HOTTA, Yoshinori; (JP).
UESUGI, Akio; (JP).
HATANAKA, Yusuke; (JP)
代理人: WATANABE, Mochitoshi; Hayakawa-tonakai Bldg. 3F, 12-5, Iwamoto-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1010032 (JP)
2008-066484 14.03.2008 JP
2008-065593 14.03.2008 JP
2008-112289 23.04.2008 JP
(JA) プローブカード
要約: front page image
(EN)Disclosed is a probe guard that has good connection stability between test electrodes and electrodes to be tested, even after being exposed to high temperatures due to a burn-in test. Even after repeated use of the probe guard, contact between the test electrodes and a conduction unit, and contact between the conduction unit and a probe contact needle or the electrodes to be tested are less susceptible to displacement. The probe guard comprises a test circuit board that has test electrodes formed so as to correspond to the electrodes to be tested; and an anisotropically conductive member that electrically connects the electrodes to be tested with the test electrodes. The test electrodes are provided so that at least the tips thereof protrude from the surface of the test circuit board. The anisotropically conductive member is provided with a plurality of conductive paths configured from conductive members that penetrate an insulating base material, which comprises an anodic oxide film of an aluminum substrate that has micropores, in the thickness direction in a manner such that the conductive paths are insulated from one another.
(FR)La présente invention concerne une protection de sonde qui présente une bonne stabilité de connexion entre les électrodes de test et les électrodes à tester, même après exposition à des températures élevées dues à un essai de déverminage. Même après un usage répété de la protection de sonde, le contact entre les électrodes de test et une unité conductrice, et le contact entre l'unité conductrice et une aiguille de contact de sonde ou les électrodes à tester sont moins susceptibles de se déplacer. La protection de sonde comprend une carte de circuit imprimé de test dont les électrodes de test sont formées de façon à correspondre aux électrodes à tester ; et un élément conducteur de façon anisotropique qui connecte électriquement les électrodes à tester aux électrodes de test. Les électrodes de test sont placées de sorte qu'au moins leurs bouts dépassent de la surface de la carte de circuit imprimé de test. L'élément conducteur de façon anisotropique est pourvu d'une pluralité de chemins conducteurs faits d'éléments conducteurs qui pénètrent un matériau de base isolant, lequel comprend une couche d'oxyde anodique d'un substrat d'aluminium comportant des micropores, dans la direction de l'épaisseur, de sorte que les chemins conducteurs soient isolés les uns des autres.
(JA) 本発明の目的は、バーンイン試験により高温に曝された後においても検査用電極と被検査電極との接続安定性が良好で、繰り返し使用後においても検査用電極と導通部との接触や、導通部とプローブ接触針または被検査電極との接触に位置ずれが生じにくいプローブカードを提供することである。本発明のプローブカードは、被検査電極と対応するように検査用電極が形成された検査用回路基板と、前記被検査電極と前記検査用電極とを電気的に接続する異方導電性部材と、を具備し、前記検査用電極が、その少なくとも先端部が前記検査用回路基板の表面から突出して設けられており、前記異方導電性部材が、マイクロポアを有するアルミニウム基板の陽極酸化皮膜からなる絶縁性基材中に、導電性部材からなる複数の導通路を互いに絶縁された状態で前記絶縁性基材を厚み方向に貫通して設けられる部材であるプローブカードである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)