WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2009113442) マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/113442    国際出願番号:    PCT/JP2009/054158
国際公開日: 17.09.2009 国際出願日: 05.03.2009
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IKEDA, Taro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IKEDA, Taro; (JP)
代理人: TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F, 1-7-20, Hirakawacho Chiyoda-ku, Tokyo, 1020093 (JP)
優先権情報:
2008-066277 14.03.2008 JP
発明の名称: (EN) MICROWAVE INTRODUCING MECHANISM, MICROWAVE PLASMA SOURCE AND MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS
(FR) MÉCANISME D'INTRODUCTION D'HYPERFRÉQUENCE, SOURCE DE PLASMA HYPERFRÉQUENCE ET APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA HYPERFRÉQUENCE
(JA) マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)A microwave introducing mechanism (43) is provided with a cylindrical main body container (50); an inner conductor (52) which is arranged coaxially in the main body container (50) and forms a microwave transmission path (53) between the main body container (50) and the inner conductor; a tuner (44) for adjusting impedance; and an antenna section (45) having an antenna (51) which radiates microwaves transmitted through the microwave transmission path (53) into a chamber. The tuner (44) has slag bodies (58) composed of a pair of dielectric bodies; an actuator (59) which moves the slag bodies (58), and a controller (60). The controller (60) moves the pair of slag bodies (58) within a range of a 1/2 wavelength at the same time, and controls one of the slag bodies (58) to move within a range of a 1/4 wavelength from the other slag body (58).
(FR)L'invention porte sur un mécanisme d'introduction d'hyperfréquence (43) qui comprend un contenant de corps principal cylindrique (50) ; un conducteur interne (52) qui est disposé de façon coaxiale dans le contenant de corps principal (50) et forme un trajet de transmission hyperfréquence (53) entre le contenant de corps principal (50) et le conducteur interne ; un adaptateur d'impédance (44) pour ajuster une impédance ; et une section d'antenne (45) comprenant une antenne (51) qui émet des hyperfréquences transmises par le trajet de transmission d'hyperfréquence (53) dans une chambre. L'adaptateur d'impédance (44) comprend des corps d'adaptation (58) composés d'une paire de corps diélectriques ; un actionneur (59) qui déplace les corps d'adaptation (58), et un dispositif de commande (60). Le dispositif de commande (60) déplace la paire de corps d'adaptation (58) dans un intervalle d'une demi-longueur d'onde en même temps, et commande l'un des corps d'adaptation (58) pour le déplacer dans un intervalle de 1/4 de longueur d'onde par rapport à l'autre corps d'adaptation (58).
(JA) マイクロ波導入機構(43)は、筒状をなす本体容器(50)と、本体容器(50)内に同軸的に設けられ、本体容器(50)との間にマイクロ波伝送路(53)を形成する内側導体(52)と、インピーダンス調整を行うチューナ(44)と、マイクロ波伝送路(53)を伝送されたマイクロ波をチャンバ内に放射するアンテナ(51)を有するアンテナ部(45)とを具備し、チューナ(44)は、一対の誘電体からなるスラグ(58)と、これらスラグ(58)を移動させるアクチュエータ(59)と、コントローラ(60)とを有し、コントローラ(60)は、一対のスラグ(58)を同時に1/2波長の長さ範囲で移動させ、かつスラグ(58)の一方を他方のスラグ(58)に対して1/4波長の範囲で移動させるように制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)