WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2009110589) 形状測定装置および方法、並びにプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/110589    国際出願番号:    PCT/JP2009/054272
国際公開日: 11.09.2009 国際出願日: 06.03.2009
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMADA, Tomoaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMADA, Tomoaki; (JP)
代理人: INAMOTO, Yoshio; 711 Building 4F, 11-18, Nishi-Shinjuku 7-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
優先権情報:
2008-057704 07.03.2008 JP
発明の名称: (EN) SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME ET PROGRAMME
(JA) 形状測定装置および方法、並びにプログラム
要約: front page image
(EN)Provided are a shape measuring device and method, which can measure the shape of a sensing object more simply and reliably by using a single-plate type color sensor, and a program. An optical low-pass filter (24) expands the slit beam reflected on a sensing object (12), in a direction perpendicular to a baseline direction. A CCD sensor (25) has pixels of R, G and B arranged in a Bayer array, and outputs the image signals which are obtained when the individual pixels receive a slit beam. On the basis of the image signals of the pixel G, an image processing unit (26) detects the timing, at which the slit beam passes through a predeterminedportion of the sensing object (12). On the basis of the image signals of the pixel R and the pixel B, the image processing unit (26) controls a projection unit (22) thereby adjusting the intensity of the slit beam. A dot group computing unit (27) computes the position of the sensing object (12) on the basis of the detected timing. The shape measuring device and method can be applied to a three-dimensional shape measuring device.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé de mesure de forme, qui peuvent mesurer la forme d'un objet de détection plus simplement et de manière plus fiable au moyen d'un capteur couleur du type à plaque unique, et un programme. Un filtre passe-bas optique (24) élargit le faisceau étroit reflété sur un objet de détection (12), dans une direction perpendiculaire à une direction de ligne de base. Un capteur CCD (25) comporte des pixels R, V et B agencés en un réseau Bayer, et délivre les signaux d'image qui sont obtenus lorsque les pixels individuels reçoivent un faisceau étroit. Sur la base des signaux d'image du pixel V, une unité de traitement d'image (26) détecte la synchronisation selon laquelle le faisceau étroit passe à travers une partie prédéterminée de l'objet de détection (12). Sur la base des signaux d'image du pixel R et du pixel B, l'unité de traitement d'image (26) commande une unité de projection (22), ajustant de ce fait l'intensité du faisceau étroit. Une unité de calcul de groupe de points (27) calcule la position de l'objet de détection (12) sur la base de la synchronisation détectée. Le dispositif et le procédé de mesure de forme peuvent être appliqués à un dispositif de mesure de forme tridimensionnel.
(JA)本発明は、単版式カラーセンサを用いて、より簡単かつ確実に被検物の形状を測定することができる形状測定装置および方法、並びにプログラムに関する。 光学的ローパスフィルタ(24)は、被検物(12)において反射したスリット光を基線方向と垂直な方向に広げる。CCDセンサ(25)には、R,G,Bの画素がベイヤー配列で配置され、CCDセンサ(25)は、各画素がスリット光を受光して得られる画像信号を出力する。画像処理ユニット(26)は、Gの画素の画像信号に基づいて、被検物(12)の所定の部位をスリット光が通過するタイミングを検出するとともに、Rの画素およびBの画素の画像信号に基づいて、投光部(22)を制御し、スリット光の強度を調整する。点群演算ユニット(27)は、検出されたタイミングに基づいて、被検物(12)の位置を演算する。本発明は、3次元形状測定装置に適用することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)