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1. (WO2009110506) イオン源

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2009/110506    国際出願番号:    PCT/JP2009/054072
国際公開日: 11.09.2009 国際出願日: 04.03.2009
H01J 27/08 (2006.01), H01J 27/14 (2006.01)
出願人: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. [JP/JP]; 6-4, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo, 1048439 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TSUJI, Yasuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TSUJI, Yasuyuki; (JP)
代理人: WATANABE, Mochitoshi; Hayakawa-tonakai Bldg. 3F, 12-5, Iwamoto-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1010032 (JP)
2008-058059 07.03.2008 JP
発明の名称: (EN) ION SOURCE
(JA) イオン源
要約: front page image
(EN)An ion source (1) comprises a plasma container (10), a pair of thermion emission devices (12, 14) for emitting thermions into the internal space of the plasma container (10), and a power source for supplying an electric current to each of the thermion emission devices (12, 14), in which the inner wall surface of the plasma container (10) exposed to plasma and a portion of the thermion emission devices (12, 14) exposed to plasma and emitting thermions are made of a material containing the same metal as a main component. Accordingly, a deposition layer adhering to the surface of the thermion emission devices (12, 14) during operation of the ion source (1) contains a component same as the component of the material of the thermion emission devices (12, 14). Consequently, thermions can be stably emitted and the operation time of the ion source (1) before replacement of the thermion emission devices (12, 14) can be prolonged.
(FR)Une source d'ions (1) comprend un récipient à plasma (10), une paire de dispositifs d'émission de thermions (12, 14) permettant d'émettre des thermions dans l'espace interne du récipient à plasma (10), et une source d'alimentation destinée à fournir un courant électrique à chaque dispositif d'émission de thermions (12, 14). La surface de la paroi interne du récipient à plasma (10) exposée au plasma et une partie des dispositifs d'émission de thermions (12, 14), exposés au plasma et émettant des thermions, sont faites d'un matériau contenant le même métal et constituant le composant principal. En conséquence, une couche de dépôt adhérant à la surface des dispositifs d'émission de thermions (12, 14) durant le fonctionnement de la source d'ions (1) contient un composant identique au composant du matériau des dispositifs d'émission de thermions (12, 14). Par conséquent, des thermions peuvent être émis de manière stable et le temps de fonctionnement de la source d'ions (1) avant le remplacement des dispositifs d'émission de thermions (12, 14) peut être prolongé.
(JA) 本発明のイオン源(1)は、プラズマ容器(10)と、プラズマ容器(10)の内部空間に熱電子を放出する一対の熱電子放出素子(12、14)と、熱電子放出素子(12、14)のそれぞれに電流を流す電源とを備え、プラズマ容器(10)内のプラズマに曝される内壁面と、熱電子放出素子(12、14)のプラズマに曝され熱電子を放出する部分とは、同じ金属を主成分とする材料から構成されている。そのため、イオン源(1)運転中に熱電子放出素子(12、14)の表面に付着する堆積層の成分は、熱電子放出素子(12、14)の材料と同一成分である。 これにより、安定した熱電子の放出が可能になると共に、熱電子放出素子(12、14)を交換するまでのイオン源(1)の運転時間が長くなった。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)